SiC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்கள் என்றால் என்ன?

"" என்றும் அழைக்கப்படும் SiC செதில்களை ஆதரிக்கும் தட்டு (அடிப்படை)மேற்கொள்பவர்," என்பது செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி உபகரணங்களின் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும். மேலும் செதில்களைச் சுமந்து செல்லும் இந்த சசெப்டர் சரியாக என்ன?

செதில் உற்பத்தியின் செயல்பாட்டில், சாதனத் தயாரிப்பிற்காக அடி மூலக்கூறுகளை எபிடாக்சியல் அடுக்குகளுடன் மேலும் கட்டமைக்க வேண்டும். வழக்கமான எடுத்துக்காட்டுகள் அடங்கும்LED உமிழ்ப்பான்கள், சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறுகளின் மேல் GaAs எபிடாக்சியல் அடுக்குகள் தேவை; கடத்தும் SiC அடி மூலக்கூறுகளில், உயர் மின்னழுத்தம் மற்றும் உயர் மின்னோட்டப் பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்தப்படும் SBDகள் மற்றும் MOSFETகள் போன்ற சாதனங்களுக்காக SiC எபிடாக்சியல் அடுக்குகள் வளர்க்கப்படுகின்றன; அன்றுஅரை-இன்சுலேடிங் SiC அடி மூலக்கூறுகள், GaN எபிடாக்சியல் அடுக்குகள், தகவல்தொடர்புகள் போன்ற RF பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்தப்படும் HEMTகள் போன்ற சாதனங்களை உருவாக்க கட்டமைக்கப்பட்டுள்ளன. இந்த செயல்முறை CVD உபகரணங்களை பெரிதும் நம்பியுள்ளது.

CVD உபகரணங்களில், அடி மூலக்கூறுகளை நேரடியாக உலோகத்தில் வைக்க முடியாது அல்லது எபிடாக்சியல் படிவுக்கான எளிய அடித்தளம், வாயு ஓட்டம் திசை (கிடைமட்ட, செங்குத்து), வெப்பநிலை, அழுத்தம், நிலைத்தன்மை மற்றும் அசுத்தங்களை அகற்றுதல் போன்ற பல்வேறு செல்வாக்கு காரணிகளை உள்ளடக்கியது. எனவே, அடி மூலக்கூறில் எபிடாக்சியல் அடுக்குகளை டெபாசிட் செய்ய CVD தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்துவதற்கு முன்பு அடி மூலக்கூறு வைக்கப்பட வேண்டிய ஒரு தளம் தேவைப்படுகிறது. இந்த அடித்தளம் ஒரு என அழைக்கப்படுகிறதுSiC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் ரிசீவர்(அடிப்படை/தட்டு/கேரியர் என்றும் அழைக்கப்படுகிறது).

SiC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்கள் பொதுவாக ஒற்றை படிக அடி மூலக்கூறுகளை ஆதரிக்கவும் வெப்பப்படுத்தவும் உலோக கரிம வேதியியல் நீராவி படிவு (MOCVD) உபகரணங்களில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. SiC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்பெப்டர்களின் வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் சீரான தன்மை ஆகியவை எபிடாக்சியல் பொருள் வளர்ச்சியின் தரத்தை தீர்மானிப்பதில் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன, அவை MOCVD கருவிகளின் முக்கிய கூறுகளாக அமைகின்றன.

MOCVD தொழில்நுட்பம் தற்போது நீல LED தயாரிப்பில் GaN மெல்லிய பட எபிடாக்ஸியை வளர்ப்பதற்கான முக்கிய நுட்பமாகும். இது எளிமையான செயல்பாடு, கட்டுப்படுத்தக்கூடிய வளர்ச்சி விகிதம் மற்றும் தயாரிக்கப்பட்ட GaN மெல்லிய படங்களின் உயர் தூய்மை போன்ற நன்மைகளை வழங்குகிறது. MOCVD உபகரணங்களின் எதிர்வினை அறைக்குள் ஒரு முக்கிய அங்கமாக, GaN மெல்லிய பட எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கு பயன்படுத்தப்படும் சஸ்செப்டர்கள், அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, சீரான வெப்ப கடத்துத்திறன், நல்ல இரசாயன நிலைத்தன்மை மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சிக்கு வலுவான எதிர்ப்பு ஆகியவற்றைக் கொண்டிருக்க வேண்டும். கிராஃபைட் பொருட்கள் இந்த தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய முடியும்.

கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்கள் MOCVD உபகரணங்களில் உள்ள முக்கிய கூறுகளில் ஒன்றாகும் மற்றும் அடி மூலக்கூறு செதில்களுக்கான கேரியர்கள் மற்றும் வெப்ப உமிழ்ப்பான்களாக செயல்படுகின்றன, இது மெல்லிய படலப் பொருட்களின் சீரான தன்மை மற்றும் தூய்மையை நேரடியாக பாதிக்கிறது. இதன் விளைவாக, அவற்றின் தரம் நேரடியாக எபி-வேஃபர்ஸ் தயாரிப்பை பாதிக்கிறது. இருப்பினும், உற்பத்தியின் போது, ​​கிராஃபைட் அரிக்கும் வாயுக்கள் மற்றும் எஞ்சிய உலோகக் கரிம சேர்மங்கள் இருப்பதால், கிராஃபைட் சஸ்பெப்டர்களின் ஆயுட்காலத்தை கணிசமாகக் குறைக்கிறது. கூடுதலாக, விழுந்த கிராஃபைட் தூள் சில்லுகளில் மாசுபாட்டை ஏற்படுத்தும்.

பூச்சு தொழில்நுட்பத்தின் தோற்றம் மேற்பரப்பு தூள் நிர்ணயம், மேம்பட்ட வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் சீரான வெப்ப விநியோகத்தை வழங்குவதன் மூலம் இந்த சிக்கலுக்கு ஒரு தீர்வை வழங்குகிறது. MOCVD உபகரண சூழலில் பயன்படுத்தப்படும் கிராஃபைட் சஸ்பெப்டர்களின் மேற்பரப்பில் உள்ள பூச்சு பின்வரும் பண்புகளைக் கொண்டிருக்க வேண்டும்:

1. கிராஃபைட் சஸ்பெக்டர் அரிக்கும் வாயு சூழலில் அரிப்புக்கு ஆளாகிறது என்பதால், கிராஃபைட் தளத்தை நல்ல அடர்த்தியுடன் முழுமையாக இணைக்கும் திறன்.

2. பல உயர்-வெப்பநிலை மற்றும் குறைந்த-வெப்பநிலை சுழற்சிகளுக்குப் பிறகு பூச்சு எளிதில் பிரிந்துவிடாது என்பதை உறுதிசெய்ய கிராஃபைட் சசெப்டருடன் வலுவான பிணைப்பு.

3. உயர் வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் வளிமண்டலங்களில் பூச்சு பயனற்றதாக மாறுவதைத் தடுக்க சிறந்த இரசாயன நிலைத்தன்மை. SiC ஆனது அரிப்பு எதிர்ப்பு, அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன், வெப்ப அதிர்ச்சிக்கு எதிர்ப்பு மற்றும் அதிக இரசாயன நிலைத்தன்மை போன்ற நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது, இது GaN எபிடாக்சியல் வளிமண்டலத்தில் வேலை செய்வதற்கு ஏற்றதாக அமைகிறது. மேலும், SiC இன் வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம் கிராஃபைட்டுடன் மிக நெருக்கமாக உள்ளது, இது கிராஃபைட் சஸ்பெப்டர்களின் மேற்பரப்பை பூசுவதற்கு விருப்பமான பொருளாக அமைகிறது.

Semicorex ஆனது CVD SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்களை உருவாக்குகிறது, செதில் படகுகள், கேன்டிலீவர் துடுப்புகள், குழாய்கள் போன்ற தனிப்பயனாக்கப்பட்ட SiC பாகங்களை உருவாக்குகிறது. உங்களுக்கு ஏதேனும் விசாரணைகள் இருந்தாலோ அல்லது கூடுதல் விவரங்கள் தேவைப்பட்டாலோ, தயவுசெய்து எங்களைத் தொடர்புகொள்ள தயங்க வேண்டாம்.

தொடர்பு தொலைபேசி எண் +86-13567891907

மின்னஞ்சல்: sales@semicorex.com