SiC படிகங்களில் உள்ள குறைபாடுகள் பற்றி - மைக்ரோபைப்

SiC அடி மூலக்கூறு த்ரெடிங் ஸ்க்ரூ டிஸ்லோகேஷன் (TSD), த்ரெடிங் எட்ஜ் டிஸ்லோகேஷன் (TED), பேஸ் பிளேன் டிஸ்லோகேஷன் (BPD) மற்றும் பிற நுண்ணிய குறைபாடுகளைக் கொண்டிருக்கலாம். இந்த குறைபாடுகள் அணு மட்டத்தில் அணுக்களின் அமைப்பில் ஏற்படும் விலகல்களால் ஏற்படுகின்றன. SiC படிகங்கள் Si அல்லது C உள்ளடக்கங்கள், மைக்ரோபைப், அறுகோண வெற்றிடங்கள், பாலிமார்ப்கள் போன்ற மேக்ரோஸ்கோபிக் இடப்பெயர்வுகளையும் கொண்டிருக்கலாம்.

SiC சாதனங்களை தயாரிப்பதில் உள்ள முக்கிய சிக்கல்களில் ஒன்று "மைக்ரோபைப்" அல்லது "பின்ஹோல்ஸ்" எனப்படும் முப்பரிமாண நுண் கட்டமைப்புகள் ஆகும், அவை முறையே 30-40um மற்றும் 0.1-5um அளவு இருக்கும். இந்த நுண்குழாயின் அடர்த்தி 10-10³/cm² மற்றும் எபிடாக்சியல் அடுக்கில் ஊடுருவி, சாதனம்-கொலையாளி குறைபாடுகளை ஏற்படுத்துகிறது. அவை முதன்மையாக ஸ்பைரோ இடப்பெயர்வுகளின் கிளஸ்டரிங் மூலம் ஏற்படுகின்றன மற்றும் SiC சாதனங்களின் வளர்ச்சியில் முதன்மையான தடையாகக் கருதப்படுகின்றன.

அடி மூலக்கூறில் உள்ள நுண்குழாய் குறைபாடுகள் வளர்ச்சியின் போது எபிடாக்சியல் அடுக்கில் உருவாகும் பிற குறைபாடுகள், அதாவது வெற்றிடங்கள், பல்வேறு பாலிமார்ப்கள், இரட்டையர்கள் போன்றவற்றைச் சேர்ப்பது போன்றவை. எனவே, அடி மூலக்கூறுப் பொருளின் வளர்ச்சியின் போது செய்ய வேண்டிய மிக முக்கியமான விஷயம். உயர் மின்னழுத்தம் மற்றும் உயர்-சக்தி SiC சாதனங்களுக்கு, மொத்த SiC படிகங்களில் நுண்குழாய் குறைபாடுகள் உருவாவதைக் குறைத்து, அவை எபிடாக்சியல் அடுக்குக்குள் நுழைவதைத் தடுப்பதாகும்.

மைக்ரோபைப்பை சிறிய குழிகளாகக் காணலாம், மேலும் செயல்முறையின் நிலைமைகளை மேம்படுத்துவதன் மூலம் நுண்குழாயின் அடர்த்தியைக் குறைக்க "குழிகளை நிரப்பலாம்". இலக்கியம் மற்றும் சோதனை தரவுகளில் பல ஆய்வுகள் ஆவியாதல் எபிடாக்ஸி, சிவிடி வளர்ச்சி மற்றும் திரவ-கட்ட எபிடாக்ஸி ஆகியவை மைக்ரோபைப்பில் நிரப்பலாம் மற்றும் மைக்ரோபைப் மற்றும் இடப்பெயர்வுகளின் உருவாக்கத்தைக் குறைக்கலாம் என்பதைக் காட்டுகின்றன.

Micropipe அடர்த்தியை திறம்பட குறைக்கும் SiC பூச்சுகளை உருவாக்க Semicorex MOCVD நுட்பத்தைப் பயன்படுத்துகிறது, இதன் விளைவாக உயர்தர தயாரிப்புகள் கிடைக்கும். உங்களிடம் ஏதேனும் விசாரணைகள் இருந்தால் அல்லது கூடுதல் விவரங்கள் தேவைப்பட்டால், தயவுசெய்து எங்களைத் தொடர்புகொள்ள தயங்க வேண்டாம்.

தொடர்பு தொலைபேசி எண் +86-13567891907

மின்னஞ்சல்: sales@semicorex.com