TaC பூச்சு

TaC மட்பாண்டங்கள் உருகும் புள்ளி 3880°C, அதிக கடினத்தன்மை (Mohs கடினத்தன்மை 9-10), பெரிய வெப்ப கடத்துத்திறன் (22W·m^-1·கே⁻¹), பெரிய நெகிழ்வு வலிமை (340-400MPa), மற்றும் வெப்ப விரிவாக்கத்தின் சிறிய குணகம் (6.6×10^-6K-1), மற்றும் சிறந்த தெர்மோகெமிக்கல் நிலைத்தன்மை மற்றும் சிறந்த இயற்பியல் பண்புகளை வெளிப்படுத்துகின்றன, எனவே TaC பூச்சுகள் விண்வெளி வெப்ப பாதுகாப்பில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, மேலும் கிராஃபைட் மற்றும் C/C கலவைகள் நல்ல இரசாயன இணக்கத்தன்மை மற்றும் இயந்திர இணக்கத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளன. ), மற்றும் சிறந்த தெர்மோகெமிக்கல் நிலைத்தன்மை மற்றும் சிறந்த இயற்பியல் பண்புகளைக் காட்டுகின்றன, மேலும் கிராஃபைட் மற்றும் C/C கலவைகள் நல்ல இரசாயன இணக்கத்தன்மை மற்றும் இயந்திர இணக்கத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளன, எனவே TaC பூச்சுகள் விண்வெளி வெப்ப பாதுகாப்பு, ஒற்றை படிக வளர்ச்சி, ஆற்றல் மற்றும் மின்னணுவியல் மற்றும் மருத்துவ சாதனங்களில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. முதலியன. TaC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் வெற்று கிராஃபைட் அல்லது SiC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட்டை விட சிறந்த இரசாயன எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் 2600° உயர் வெப்பநிலையில் நிலையான முறையில் பயன்படுத்தப்படலாம். 2600 ° உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை, மற்றும் பல உலோக கூறுகள் எதிர்வினை இல்லை, குறைக்கடத்தி ஒற்றை படிக வளர்ச்சி மூன்றாவது தலைமுறை மற்றும் பூச்சு சிறந்த செயல்திறன் செதில் பொறித்தல் காட்சிகள், கணிசமாக வெப்பநிலை மற்றும் தூய்மையற்ற கட்டுப்பாடு செயல்முறை மேம்படுத்த முடியும், உயர் தயாரிப்பு -தரமான சிலிக்கான் கார்பைடு செதில்கள் மற்றும் தொடர்புடைய எபிடாக்சியல் வேஃபர். GaN அல்லது AlN ஒற்றைப் படிகங்களை வளர்ப்பதற்கு MOCVD கருவிகளுக்கும், SiC ஒற்றைப் படிகங்களை வளர்ப்பதற்கு PVT உபகரணங்களுக்கும் இது மிகவும் பொருத்தமானது, மேலும் வளர்ந்த ஒற்றைப் படிகங்களின் தரம் கணிசமாக மேம்படுத்தப்பட்டுள்ளது.

ஆய்வு முடிவுகளின்படி,TaC பூச்சு கிராஃபைட் கூறுகளின் ஆயுளை நீட்டிக்கவும், ரேடியல் வெப்பநிலை சீரான தன்மையை மேம்படுத்தவும், SiC பதங்கமாதல் ஸ்டோச்சியோமெட்ரியை பராமரிக்கவும், தூய்மையற்ற இடம்பெயர்வை அடக்கவும் மற்றும் ஆற்றல் நுகர்வு குறைக்கவும் ஒரு பாதுகாப்பு மற்றும் தனிமைப்படுத்தல் அடுக்காக செயல்படும். இறுதியில் TaC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் க்ரூசிபிள் தொகுப்பு SiC PVT செயல்முறைக் கட்டுப்பாடு மற்றும் தயாரிப்பு தரத்தை மேம்படுத்தும் என்று எதிர்பார்க்கப்படுகிறது.