சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்களின் பண்புகள் மற்றும் குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகள்

சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் முதன்மையாக கார்பன் மற்றும் சிலிக்கான் கொண்ட மேம்பட்ட பீங்கான் பொருள் ஆகும். சிறந்த செயல்திறன் சிறப்பியல்புகளைக் கொண்ட சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் இயந்திர இயந்திரம், குறைக்கடத்தி உற்பத்தி, இராணுவத் தொழில் மற்றும் விண்வெளி பொறியியல் உள்ளிட்ட உயர்நிலைத் தொழில்களில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான்களின் செயல்திறன் பண்புகள்

1. விதிவிலக்கான உயர் கடினத்தன்மை மற்றும் வலிமை

சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் நெகிழ்வு வலிமை பொதுவாக 400 MPa ஐ விட அதிகமாக உள்ளது மற்றும் அதன் விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை 2200 முதல் 3300 HV வரை இருக்கும், இது அதிக சுமை மற்றும் அதிக அழுத்த இயக்க நிலைமைகளுக்கு மிகவும் பொருத்தமானது.

2. சிறந்த மீள் மாடுலஸ்

சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் மீள் மாடுலஸ் 400-450 GPa வரம்பிற்குள் உள்ளது, இது விதிவிலக்கான கட்டமைப்பு விறைப்பு மற்றும் அதிக-ஏற்றுதல் நிலைமைகளின் கீழ் குறைந்தபட்ச சிதைவை வழங்குகிறது.

3. உயர்ந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை

சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் 1400 டிகிரி செல்சியஸ் மந்தமான அல்லது குறைக்கும் சூழல்களில் வழக்கமான உலோகங்கள் மற்றும் மட்பாண்டங்களை விட குறைவான வலிமை சிதைவை வெளிப்படுத்துகிறது, இது அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அதிக சுமை சூழ்நிலைகளில் சிதைவு மற்றும் க்ரீப் தோல்விக்கு எதிராக சிறந்த செயல்திறனைக் கொண்டுள்ளது.

4. சிறந்த இரசாயன அரிப்பு எதிர்ப்பு

சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்கள் மிகவும் வலுவான அமிலங்கள், வலுவான காரங்கள், உருகிய உப்புகள் மற்றும் பல்வேறு அரிக்கும் வாயுக்களுக்கு எதிராக சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளன. இது அரிக்கும் இயக்க நிலைமைகளுக்கு வெளிப்பட்டாலும் கூட, சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் கூறுகளின் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாடு இரசாயன அரிப்பினால் அரிதாகவே சேதமடைகிறது.

செமிகண்டக்டர் தொழில்துறையில் சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் பயன்பாடுகள்

1. பொறித்தல் உபகரணங்கள்

போன்ற CVD SiC கூறுகள்கவனம் வளையங்கள், வாயுமழை தலைகள், செதில் உறிஞ்சிகள், விளிம்பு வளையங்கள் சாதகமான மின் கடத்துத்திறனை வெளிப்படுத்துகின்றன, அவை பிளாஸ்மா பொறிக்கும் கருவிகளில் அதிக அரிக்கும் மற்றும் உயர் ஆற்றல் பிளாஸ்மா சூழல்களில் சிறப்பாக செயல்படுகின்றன.

2. லித்தோகிராஃபி உபகரணங்கள்

லித்தோகிராஃபி செயல்முறைகள் நானோ அளவிலான சீரமைப்புத் துல்லியத்தைக் கோருகின்றன, மேலும் லித்தோகிராஃபி அமைப்பில் பயன்படுத்தப்படும் கூறுகள் உயர் அதிர்வெண் பரிமாற்ற இயக்கம் மற்றும் மைக்ரோமீட்டர்-நிலை துல்லியக் கட்டுப்பாடு ஆகியவற்றின் நிலைமைகளின் கீழ் செயல்பட வேண்டும். குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம், அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் உயர்ந்த விறைப்பு, சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் பாகங்கள் போன்ற செதில் நிலைகள் மற்றும்ஒளியியல் கண்ணாடிகள்கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டைப் பாதுகாக்கவும் மற்றும் கடுமையான லித்தோகிராஃபி சூழல்களில் வெப்ப சிதைவைக் குறைக்கவும் முடியும், இது நிலையான கணினி செயல்திறன் மற்றும் உயர் லித்தோகிராஃபி துல்லியத்திற்கு திறம்பட உத்தரவாதம் அளிக்கிறது.

3. எபிடாக்சியல் க்ரோத் எக்யூப்மென்ட் (எம்ஓசிவிடி)

சீரான மற்றும் அடர்த்தியான CVD SiC பூச்சுகள் பூசப்பட்ட வேஃபர் கேரியர்கள் நிலையான மற்றும் நம்பகமான செயல்திறனை வெளிப்படுத்துகின்றன. அவை பொருள் பதங்கமாதல் மற்றும் துகள் மாசுபாட்டை திறம்பட அடக்கி, எபிடாக்சியல் உபகரணங்களில் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அதிக அரிக்கும் பயன்பாடுகளுக்கு ஒரு தவிர்க்க முடியாத சிறந்த விருப்பமாக அமைகின்றன.