டம்மி வேஃபர்ஸ் பற்றிய சுருக்கமான அறிமுகம்

மேம்பட்ட செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியானது மெல்லிய படப் படிவு, ஃபோட்டோலித்தோகிராபி, எச்சிங், அயன் இம்ப்லாண்டேஷன், கெமிக்கல் மெக்கானிக்கல் பாலிஷ் உள்ளிட்ட பல செயல்முறை படிகளைக் கொண்டுள்ளது. இந்த செயல்பாட்டின் போது, ​​செயல்பாட்டில் உள்ள சிறிய குறைபாடுகள் கூட இறுதி குறைக்கடத்தி சில்லுகளின் செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையில் தீங்கு விளைவிக்கும். எனவே, செயல்முறை நிலைத்தன்மை மற்றும் நிலைத்தன்மையை பராமரிப்பது ஒரு குறிப்பிடத்தக்க சவாலாகும், அத்துடன் திறமையான உபகரண கண்காணிப்பை நடத்துகிறது. டம்மி செதில்கள் இந்த சவால்களைச் சமாளிக்க உதவும் முக்கியமான கருவிகள்.

டம்மி செதில்கள் என்பது உண்மையான மின்சுற்றுகளை கொண்டு செல்லாத மற்றும் இறுதி சிப் உற்பத்தி செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படாத செதில்களாகும். இவைசெதில்கள்புத்தம் புதிய, குறைந்த தர சோதனை செதில்கள் அல்லது மீட்டெடுக்கப்பட்ட செதில்களாக இருக்கலாம். ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்றுகளை உற்பத்தி செய்ய பயன்படுத்தப்படும் விலையுயர்ந்த தயாரிப்பு செதில்களிலிருந்து வேறுபட்டது, அவை பொதுவாக குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்கு அவசியமான பல்வேறு உற்பத்தி அல்லாதவற்றுக்குப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

போலி வேஃபர்களின் பயன்பாடுகள்

1.செயல்முறை தகுதி & ட்யூனிங்

புதிய செயல்முறை உபகரணங்களை இயக்குவதற்கு முன், ஏற்கனவே உள்ள உபகரணங்களை பராமரித்தல் அல்லது கூறுகளை மாற்றிய பின், மற்றும் புதிய செயல்முறை செய்முறைகளை உருவாக்குதல் போன்ற செயல்முறை நிலைத்தன்மை மற்றும் உபகரணங்களின் செயல்திறன் இணக்கத்தை உறுதி செய்வதற்காக, போலிச் செதில்கள் பொதுவாக சோதனைக்கு பயன்படுத்தப்படுகின்றன. டம்மி வேஃபர்களின் செயலாக்க முடிவுகளை பகுப்பாய்வு செய்வதன் மூலம் உபகரணங்களின் செயல்திறன் சரிபார்ப்பு மற்றும் செயல்முறை அளவுருக்களின் துல்லியமான சரிசெய்தல் ஆகியவை வெற்றிகரமாக முடிக்கப்படலாம், இது தயாரிப்பு செதில்களின் இழப்பை திறம்பட குறைக்கிறது மற்றும் நிறுவனங்களுக்கான உற்பத்தி செலவுகளைக் குறைக்கிறது.

2. உபகரணங்கள் கண்டிஷனிங் & வார்ம்-அப்

பல குறைக்கடத்தி செயல்முறை உபகரணங்களின் அறை சூழல் (எ.கா., இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) உபகரணங்கள், உடல் நீராவி படிவு (PVD) உபகரணங்கள் மற்றும் பொறித்தல் இயந்திரங்கள்) செயலாக்க முடிவுகளில் குறிப்பிடத்தக்க தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகிறது. உதாரணமாக, அறையின் உள் சுவர்களில் பூச்சு நிலை மற்றும் வெப்பநிலை விநியோகம் ஒரு நிலையான நிலையை அடைய வேண்டும். டம்மி செதில்கள் பெரும்பாலும் செயல்முறை அறைகளை நிலைநிறுத்தவும், அறைகளின் உள் சூழலை (எ.கா., வெப்பநிலை, இரசாயன வளிமண்டலம் மற்றும் மேற்பரப்பு நிலை) உறுதிப்படுத்தவும் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, இது சாதனங்கள் அதன் உகந்த நிலையில் செயல்படாததால் ஏற்படும் முதல் தொகுதி தயாரிப்பு செதில்களில் செயல்முறை விலகல்கள் அல்லது குறைபாடுகளை திறம்பட தடுக்கிறது.

3.துகள் கண்காணிப்பு & மாசு கட்டுப்பாடு

செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் மிக உயர்ந்த தூய்மைத் தேவைகள் உள்ளன; சிறிய துகள் மாசுபாடு கூட சிப் தோல்விக்கு வழிவகுக்கும். உபகரணங்களுக்குள் செலுத்தப்பட்ட போலி செதில்களின் மேற்பரப்பில் ஒட்டியிருக்கும் துகள்களை ஆய்வு செய்வதன் மூலம், உபகரணங்களின் தூய்மையை மதிப்பிட முடியும். எனவே, மாசுபாட்டின் சாத்தியமான ஆதாரங்களை உடனடியாகக் கண்டறிந்து, சுத்தம் செய்தல் அல்லது பராமரிப்பு நடைமுறைகளை வைப்பதன் மூலம் தயாரிப்பு செதில்களை மாசுபாட்டிலிருந்து வெற்றிகரமாகப் பாதுகாக்க முடியும்.

4.தொகுப்பு சீரான ஸ்லாட் நிரப்புதல்

செயல்முறை அறையில் வாயு ஓட்டம், வெப்பநிலை விநியோகம் மற்றும் எதிர்வினை செறிவு ஆகியவற்றை அடைய, முழு-சுமை செயல்பாடு என்பது பரவல் உலைகள், ஆக்சிஜனேற்ற உலைகள் அல்லது ஈரமான சுத்தம் செய்யும் தொட்டிகள் போன்ற தொகுதி செயலாக்க கருவிகளில் பொதுவான நடைமுறையாகும். போதுமான எண்ணிக்கையிலான தயாரிப்பு செதில்கள் இல்லாத செதில் படகில் உள்ள வெற்று இடங்களை நிரப்ப போலி செதில்கள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, இது விளிம்பு விளைவைக் குறைக்கும் மற்றும் அனைத்து தயாரிப்பு செதில்களுக்கும், குறிப்பாக செதில் படகின் விளிம்புகளில் உள்ளவற்றுக்கு நிலையான செயலாக்க நிலைமைகளை உறுதி செய்யும்.

5.கெமிக்கல் மெக்கானிக்கல் பாலிஷிங் (சிஎம்பி) செயல்முறைகளை உறுதிப்படுத்துதல்

செயல்முறை நிலைத்தன்மையை பராமரிக்க CMP செயல்முறையின் முன் சிகிச்சை நிலையிலும் போலி செதில்கள் பயன்படுத்தப்படலாம். போலிச் செதில்களுடன் கூடிய முன்-இயக்கச் சோதனையானது பாலிஷ் பேடின் கடினத்தன்மை மற்றும் போரோசிட்டியை மேம்படுத்துகிறது, தொடக்க நிலைப்படுத்தல் கட்டம் அல்லது பணிநிறுத்தத்திற்கு முன் மாறுதல் கட்டத்தின் போது செயல்முறை நிச்சயமற்ற தன்மையைக் குறைக்கிறது, மேலும் அசாதாரண குழம்பு வழங்கல் மற்றும் தலை உதரவிதான உடைகள் ஆகியவற்றால் ஏற்படும் செதில் கீறல்கள் மற்றும் குறைபாடுகளைக் குறைக்கிறது.

செமிகோரெக்ஸ் செலவு குறைந்ததை வழங்குகிறதுSiC போலி செதில்கள். உங்களிடம் ஏதேனும் விசாரணைகள் இருந்தால் அல்லது கூடுதல் விவரங்கள் தேவைப்பட்டால், தயவுசெய்து எங்களைத் தொடர்புகொள்ள தயங்க வேண்டாம்.

தொடர்பு தொலைபேசி எண் +86-13567891907

மின்னஞ்சல்: sales@semicorex.com