SiC அடி மூலக்கூறுகளை உருவாக்குவதில் உள்ள சவால்கள் என்ன?

செமிகண்டக்டர் தொழில்நுட்பம் அதிக அதிர்வெண்கள், அதிக வெப்பநிலை, அதிக சக்தி மற்றும் குறைந்த இழப்புகளை நோக்கி மேம்படுத்தப்பட்டு, சிலிக்கான் கார்பைடு முதன்மை மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்தி பொருளாக உள்ளது, படிப்படியாக வழக்கமான சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறுகளை மாற்றுகிறது. சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறுகள், பரந்த பேண்ட்கேப், அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன், உயர்ந்த முக்கியமான மின்சார புலம் வலிமை மற்றும் அதிக எலக்ட்ரான் இயக்கம் போன்ற தனித்துவமான நன்மைகளை வழங்குகின்றன, இது உயர் செயல்திறன், உயர் சக்தி மற்றும் உயர் அதிர்வெண் சாதனங்களுக்கான சிறந்த தேர்வாகிறது.

உயர்தர சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறுகளை தயாரிப்பதில் உள்ள சவால்கள்

உயர்தர சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறுகளின் உற்பத்தி மற்றும் செயலாக்கம் மிக உயர்ந்த தொழில்நுட்ப தடைகளை உள்ளடக்கியது. மூலப்பொருள் தயாரிப்பில் இருந்து முடிக்கப்பட்ட தயாரிப்பு புனையமைப்பு வரை, முழு செயல்முறையிலும் பல சவால்கள் நீடிக்கின்றன, இது அதன் பெரிய அளவிலான பயன்பாடு மற்றும் தொழில்துறை மேம்படுத்தலைக் கட்டுப்படுத்தும் ஒரு முக்கிய காரணியாக மாறியுள்ளது.

1. மூலப்பொருள் தொகுப்பு சவால்கள்

சிலிக்கான் கார்பைடு ஒற்றை படிக வளர்ச்சிக்கான அடிப்படை மூலப்பொருட்கள் கார்பன் பவுடர் மற்றும் சிலிக்கான் பவுடர் ஆகும். அவற்றின் தொகுப்பின் போது சுற்றுச்சூழல் அசுத்தங்களால் மாசுபடுவதற்கு அவை எளிதில் பாதிக்கப்படுகின்றன, மேலும் இந்த அசுத்தங்களை அகற்றுவது கடினம். இந்த அசுத்தங்கள் கீழ்நிலை SiC படிக தரத்தை எதிர்மறையாக பாதிக்கிறது. தவிர, சிலிக்கான் பவுடர் மற்றும் கார்பன் பவுடர் இடையே உள்ள முழுமையற்ற எதிர்வினை Si/C விகிதத்தில் எளிதில் ஏற்றத்தாழ்வை ஏற்படுத்தி, படிக கட்டமைப்பின் நிலைத்தன்மையை சமரசம் செய்துவிடும். ஒருங்கிணைக்கப்பட்ட SiC தூளில் உள்ள படிக வடிவம் மற்றும் துகள் அளவு ஆகியவற்றின் துல்லியமான கட்டுப்பாடு கடுமையான பிந்தைய தொகுப்பு செயலாக்கத்தைக் கோருகிறது, இதனால் தீவன தயாரிப்புக்கான தொழில்நுட்ப தடையை உயர்த்துகிறது.

2. படிக வளர்ச்சி சவால்கள்

சிலிக்கான் கார்பைடு படிகத்தின் வளர்ச்சிக்கு 2300℃க்கு மேல் வெப்பநிலை தேவைப்படுகிறது, இது செமிகண்டக்டர் உபகரணங்களின் உயர்-வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்பக் கட்டுப்பாட்டு துல்லியத்தின் மீது கடுமையான கோரிக்கைகளை வைக்கிறது. மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கானில் இருந்து வேறுபட்டு, சிலிக்கான் கார்பைடு மிகவும் மெதுவான வளர்ச்சி விகிதங்களை வெளிப்படுத்துகிறது. உதாரணமாக, PVT முறையைப் பயன்படுத்தி, ஏழு நாட்களில் 2 முதல் 6 சென்டிமீட்டர் சிலிக்கான் கார்பைடு படிகத்தை மட்டுமே வளர்க்க முடியும். இது சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறுகளுக்கு குறைந்த உற்பத்தித் திறனை ஏற்படுத்துகிறது, ஒட்டுமொத்த உற்பத்தித் திறனைக் கடுமையாகக் கட்டுப்படுத்துகிறது.  மேலும், சிலிக்கான் கார்பைடு 200க்கும் மேற்பட்ட படிக அமைப்பு வகைகளைக் கொண்டுள்ளது, இதில் 4H-SiC போன்ற சில கட்டமைப்பு வகைகள் மட்டுமே பயன்படுத்தப்படுகின்றன. எனவே, பாலிமார்பிக் சேர்த்தல்களைத் தவிர்க்கவும், தயாரிப்பு தரத்தை உறுதிப்படுத்தவும் அளவுருக்களின் கடுமையான கட்டுப்பாடு அவசியம்.

3. படிக செயலாக்க சவால்கள்

சிலிக்கான் கார்பைட்டின் கடினத்தன்மை வைரத்திற்கு அடுத்தபடியாக இருப்பதால், இது வெட்டுவதில் சிரமத்தை பெரிதும் அதிகரிக்கிறது. வெட்டுதல் செயல்பாட்டின் போது, ​​குறிப்பிடத்தக்க வெட்டு இழப்பு ஏற்படுகிறது, இழப்பு விகிதம் சுமார் 40% ஐ அடைகிறது, இதன் விளைவாக மிகக் குறைந்த பொருள் பயன்பாட்டு திறன் உள்ளது. அதன் குறைந்த எலும்பு முறிவு கடினத்தன்மை காரணமாக, சிலிக்கான் கார்பைடு மெல்லிய செயலாக்கத்தின் போது விரிசல் மற்றும் விளிம்பு சிப்பிங் ஆகியவற்றிற்கு ஆளாகிறது. மேலும், அடுத்தடுத்த குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகள் சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறுகளின் எந்திர துல்லியம் மற்றும் மேற்பரப்பு தரம், குறிப்பாக மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை, தட்டையான தன்மை மற்றும் வார்பேஜ் ஆகியவற்றில் மிகவும் கடுமையான தேவைகளை விதிக்கின்றன. சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறுகளை மெலிதல், அரைத்தல் மற்றும் மெருகூட்டுதல் ஆகியவற்றிற்கு இது கணிசமான சவால்களை முன்வைக்கிறது.

செமிகோரெக்ஸ் சலுகைகள்சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறுகள்பல்வேறு அளவுகள் மற்றும் தரங்களில். ஏதேனும் கேள்விகள் அல்லது கூடுதல் விவரங்களுக்கு எங்களை தொடர்பு கொள்ளவும்.

தொலைபேசி: +86-13567891907

மின்னஞ்சல்: sales@semicorex.com