செமிகண்டக்டர் வெப்பமூட்டும் கூறுகள் பற்றி

குறைக்கடத்தி செயல்பாட்டில் வெப்ப சிகிச்சை அத்தியாவசிய மற்றும் முக்கியமான செயல்முறைகளில் ஒன்றாகும். வெப்ப செயல்முறை என்பது ஆக்சிஜனேற்றம் / பரவல் / அனீலிங் போன்ற ஒரு குறிப்பிட்ட வாயு நிரப்பப்பட்ட சூழலில் வைப்பதன் மூலம் ஒரு செதில் வெப்ப ஆற்றலைப் பயன்படுத்துவதற்கான செயல்முறையாகும்.

வெப்ப சிகிச்சை உபகரணங்கள் முக்கியமாக ஆக்ஸிஜனேற்றம், பரவல், அனீலிங் மற்றும் அலாய் நான்கு வகையான செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

ஆக்சிஜனேற்றம்வளிமண்டலத்தில் உள்ள சிலிக்கான் செதில்களில் ஆக்ஸிஜன் அல்லது நீர் நீராவி மற்றும் உயர் வெப்பநிலை வெப்ப சிகிச்சைக்கான பிற ஆக்ஸிஜனேற்றங்கள் வைக்கப்படுகின்றன, ஆக்சைடு பட செயல்முறையை உருவாக்குவதற்கு செதில்களின் மேற்பரப்பில் உள்ள இரசாயன எதிர்வினை, அடிப்படை செயல்முறையின் ஒருங்கிணைந்த சுற்று செயல்பாட்டில் மிகவும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் ஒன்றாகும். ஆக்சிடேஷன் ஃபிலிம் பரந்த அளவிலான பயன்பாடுகளைக் கொண்டுள்ளது, அயன் ஊசி மற்றும் உட்செலுத்துதல் ஊடுருவல் அடுக்கு (சேதம் தாங்கல் அடுக்கு), மேற்பரப்பு செயலிழப்பு, இன்சுலேடிங் கேட் பொருட்கள் மற்றும் சாதன பாதுகாப்பு அடுக்கு, தனிமைப்படுத்தல் அடுக்கு, மின்கடத்தா அடுக்கின் சாதன அமைப்பு மற்றும் பலவற்றிற்கான தடுப்பு அடுக்காகப் பயன்படுத்தலாம்.

பரவல்உயர் வெப்பநிலை நிலைகளில் உள்ளது, சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறில் டோப் செய்யப்பட்ட செயல்முறை தேவைகளுக்கு ஏற்ப தூய்மையற்ற உறுப்புகளின் வெப்ப பரவல் கொள்கையைப் பயன்படுத்துகிறது, இதனால் அது ஒரு குறிப்பிட்ட செறிவு விநியோகத்தைக் கொண்டுள்ளது, பொருளின் மின் பண்புகளை மாற்ற, குறைக்கடத்தி சாதனத்தின் கட்டமைப்பை உருவாக்குகிறது. சிலிக்கான் ஒருங்கிணைக்கப்பட்ட சுற்றுச் செயல்பாட்டில், பரவல் செயல்முறையானது பிஎன் சந்திப்பை உருவாக்க அல்லது மின்தடை, கொள்ளளவு, இன்டர்கனெக்ட் வயரிங், டையோட்கள் மற்றும் டிரான்சிஸ்டர்கள் மற்றும் பிற சாதனங்களில் ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளை உருவாக்க பயன்படுகிறது.

அனீல், வெப்ப அனீலிங், ஒருங்கிணைந்த சுற்று செயல்முறை, நைட்ரஜன் மற்றும் பிற செயலற்ற வளிமண்டலத்தில் உள்ள வெப்ப சிகிச்சை செயல்பாட்டில் அனீலிங் என்று அழைக்கப்படும், அதன் பங்கு முக்கியமாக லட்டு குறைபாடுகளை அகற்றுவது மற்றும் சிலிக்கான் கட்டமைப்பிற்கு லேட்டிஸ் சேதத்தை அகற்றுவது ஆகும்.

அலாய்உலோகங்கள் (Al மற்றும் Cu) மற்றும் சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறுக்கு ஒரு நல்ல தளத்தை உருவாக்குவதற்கும், அதே போல் Cu வயரிங் படிக அமைப்பை உறுதிப்படுத்துவதற்கும் அசுத்தங்களை அகற்றுவதற்கும், ஒரு மந்த வாயு அல்லது ஆர்கான் வளிமண்டலத்தில் சிலிக்கான் செதில்களை வைப்பதற்கு வழக்கமாக தேவைப்படும் குறைந்த வெப்பநிலை வெப்ப சிகிச்சை ஆகும்.

உபகரண வடிவத்தின் படி, வெப்ப சிகிச்சை உபகரணங்களை செங்குத்து உலை, கிடைமட்ட உலை மற்றும் விரைவான வெப்ப செயலாக்க உலை (விரைவான வெப்ப செயலாக்கம், RTP) என பிரிக்கலாம்.

செங்குத்து உலை:செங்குத்து உலைகளின் முக்கிய கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு ஐந்து பகுதிகளாக பிரிக்கப்பட்டுள்ளது: உலை குழாய், செதில் பரிமாற்ற அமைப்பு, எரிவாயு விநியோக அமைப்பு, வெளியேற்ற அமைப்பு, கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு. உலை குழாய் என்பது சிலிக்கான் செதில்களை சூடாக்குவதற்கான இடமாகும், இதில் செங்குத்து குவார்ட்ஸ் பெல்லோஸ், பல மண்டல வெப்பமூட்டும் மின்தடை கம்பிகள் மற்றும் வெப்பமூட்டும் குழாய் சட்டைகள் உள்ளன. செதில் பரிமாற்ற அமைப்பின் முக்கிய செயல்பாடு உலைக் குழாயில் செதில்களை ஏற்றுவதும் இறக்குவதும் ஆகும். செதில்களை ஏற்றுவதும் இறக்குவதும் தானியங்கி இயந்திரங்களால் நிறைவேற்றப்படுகிறது, இது செதில் ரேக் டேபிள், ஃபர்னேஸ் டேபிள், செதில் ஏற்றும் மேசை மற்றும் கூலிங் டேபிள் ஆகியவற்றுக்கு இடையே நகரும். எரிவாயு விநியோக அமைப்பு சரியான வாயு ஓட்டத்தை உலை குழாய்க்கு மாற்றுகிறது மற்றும் உலைக்குள் வளிமண்டலத்தை பராமரிக்கிறது. வால் வாயு அமைப்பு உலைக் குழாயின் ஒரு முனையில் உள்ள துளையில் அமைந்துள்ளது மற்றும் வாயு மற்றும் அதன் துணை தயாரிப்புகளை முழுவதுமாக அகற்ற பயன்படுகிறது. கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு (மைக்ரோகண்ட்ரோலர்) செயல்முறை நேரம் மற்றும் வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு, செயல்முறை படிகளின் வரிசை, வாயு வகை, வாயு ஓட்ட விகிதம், வெப்பநிலை உயர்வு மற்றும் வீழ்ச்சி விகிதம், செதில்களை ஏற்றுதல் மற்றும் இறக்குதல் போன்ற அனைத்து உலை செயல்பாடுகளையும் கட்டுப்படுத்துகிறது. ஒவ்வொரு மைக்ரோகண்ட்ரோலரும் ஹோஸ்ட் கணினியுடன் இடைமுகம் செய்கிறது. கிடைமட்ட உலைகளுடன் ஒப்பிடுகையில், செங்குத்து உலைகள் கால்தடத்தை குறைக்கின்றன மற்றும் சிறந்த வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு மற்றும் சீரான தன்மையை அனுமதிக்கின்றன.

கிடைமட்ட உலை:அதன் குவார்ட்ஸ் குழாய் சிலிக்கான் செதில்களை வைக்க மற்றும் சூடாக்க கிடைமட்டமாக வைக்கப்பட்டுள்ளது. அதன் முக்கிய கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு செங்குத்து உலை போன்ற 5 பிரிவுகளாக பிரிக்கப்பட்டுள்ளது.

விரைவான வெப்ப செயலாக்க உலை (RTP)விரைவு வெப்பநிலை உயரும் உலை (RTP) என்பது ஒரு சிறிய, விரைவான வெப்பமாக்கல் அமைப்பாகும், இது ஆலசன் அகச்சிவப்பு விளக்குகளை வெப்ப மூலமாகப் பயன்படுத்துகிறது, இது செதில் வெப்பநிலையை விரைவாக செயலாக்க வெப்பநிலைக்கு உயர்த்துகிறது, செயல்முறை நிலைப்படுத்தலுக்குத் தேவையான நேரத்தைக் குறைக்கிறது மற்றும் செயல்முறையின் முடிவில் செதில்களை விரைவாக குளிர்விக்கிறது. பாரம்பரிய செங்குத்து உலைகளுடன் ஒப்பிடும்போது, ​​RTP வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டில் மிகவும் மேம்பட்டது, முக்கிய வேறுபாடுகள் அதன் விரைவான வெப்பமூட்டும் கூறுகள், சிறப்பு செதில் ஏற்றுதல் சாதனங்கள், கட்டாய காற்று குளிரூட்டல் மற்றும் சிறந்த வெப்பநிலை கட்டுப்படுத்திகள். அளவீடு மற்றும் கட்டுப்பாடு, விரைவு-வெப்பநிலை-செயலாக்க (RTP) உலைகள் உலைக்குள் வளிமண்டலத்தைக் கட்டுப்படுத்தாமல், தனித்தனி வெப்பமாக்கல் மற்றும் செதில்களின் குளிர்ச்சியைக் கட்டுப்படுத்த அனுமதிக்கும் மட்டு வெப்பநிலைக் கட்டுப்பாடுகளைப் பயன்படுத்துகின்றன. கூடுதலாக, அதிக செதில் அளவுகள் (150-200 சிறிய செதில்கள், சிறிய ரேம்ப் பேட்கள், 5 ரேம்ப் 0 பேட் விகிதம்) மற்றும் 5 ரேம்ப் பேட்களுக்கு இடையே ஒரு வர்த்தகம் உள்ளது. s) ஒரே நேரத்தில் குறைவான செதில்கள் செயலாக்கப்படுவதால் சாய்வு வீதத்தை அதிகரிக்க, மேலும் இந்த சிறிய தொகுதி அளவும் செயல்பாட்டில் உள்ளூர் காற்றோட்டத்தை மேம்படுத்துகிறது.

செமிகோரெக்ஸ் நிபுணத்துவம் பெற்றதுCVD SiC பூச்சுகளுடன் SiC பாகங்கள்குழாய், கான்டிலீவர் துடுப்புகள், செதில் படகுகள், செதில் வைத்திருப்பவர் மற்றும் பல போன்ற குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளுக்கு. உங்களுக்கு ஏதேனும் கேள்விகள் இருந்தால் அல்லது கூடுதல் தகவல் தேவைப்பட்டால், தயவுசெய்து எங்களை தொடர்பு கொள்ளவும்.

தொடர்பு தொலைபேசி #+86-13567891907

மின்னஞ்சல்:sales@semicorex.com