சிலிக்கான் கார்பைடு வேஃபர் படகு

செதில் உற்பத்தியில் ஒவ்வொரு உயர் வெப்பநிலை செயல்முறைக்கும் பின்னால் ஒரு அமைதியான மற்றும் முக்கியமான வீரர் இருக்கிறார்: செதில் படகு. செதில் செயலாக்கத்தின் போது சிலிக்கான் செதில்களை நேரடியாக தொடர்பு கொள்ளும் முக்கிய கேரியர், அதன் பொருள், ஸ்திரத்தன்மை மற்றும் தூய்மை ஆகியவை இறுதி சிப் மகசூல் மற்றும் செயல்முறை நிலைத்தன்மையுடன் நேரடியாக தொடர்புடையவை. பல்வேறு கேரியர் பொருட்களில்,சிலிக்கான் கார்பைடு (sic)படகுகள் படிப்படியாக பாரம்பரிய குவார்ட்ஸ் தீர்வுகளை மாற்றுகின்றன, இது மேம்பட்ட செயல்முறைகள் மற்றும் உயர்நிலை உபகரணங்களுக்கு விருப்பமான தீர்வாக மாறும்.

ஏன் SIC WAFER படகுகள்?

7nm க்குக் குறைவான செயல்முறை முனைகளின் முன்னேற்றம் மற்றும் உயர் வெப்பநிலை செயல்முறை சாளரங்களின் விரிவாக்கம் மூலம், பாரம்பரிய குவார்ட்ஸ் செதில் படகுகள் வெப்ப நிலைத்தன்மை, துகள் கட்டுப்பாடு மற்றும் ஆயுட்காலம் மேலாண்மை ஆகியவற்றின் அடிப்படையில் பெருகிய முறையில் போராடுகின்றன.

இருப்பினும், சிலிக்கான் கார்பைடு வேஃபர் படகுகள் பின்வரும் நன்மைகள் காரணமாக படிப்படியாக முக்கியத்துவம் பெறுகின்றன:

1. அதிக வெப்பநிலையில் செதுக்கு:

அவை 1350-1600 ° C இன் நீண்டகால இயக்க வெப்பநிலையை வழங்குகின்றன, சி.வி.டி, பரவல் மற்றும் வருடாந்திர போன்ற முக்கிய செயல்முறைகளை எளிதில் கையாளுகின்றன. 1800 ° C வெப்பநிலைக்கு சுருக்கமான வெளிப்பாடு கூட மென்மையாக்கல் அல்லது சிதைவைக் காட்டவில்லை, இது ஒற்றை படிக சிலிக்கான் கார்பைடு உலைகள் போன்ற உயர்நிலை உபகரணங்களுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.

2. குறைந்த விரிவாக்கம் மற்றும் உயர் வெப்ப அதிர்ச்சி நிலைத்தன்மை:

வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குறைந்த குணகத்துடன், அவை விரைவான வெப்பநிலை அதிகரிப்பு மற்றும் குறைவுகளைத் தாங்கும், வெப்ப அழுத்தத்தால் ஏற்படும் கட்டமைப்பு விரிசலைக் குறைக்கும். அவை உயர் வெப்பநிலை, சிக்கலான வளிமண்டலங்களில் (ஹைட்ரஜன், நைட்ரஜன், அம்மோனியா மற்றும் ஃவுளூரைடுகள் போன்றவை) சிறந்த உருவவியல் மற்றும் செயல்திறனை பராமரிக்கின்றன.

3. கிளீன் மேற்பரப்பு மற்றும் மிகக் குறைந்த மாசுபாடு:

குறைந்தபட்ச உலோக அசுத்தங்களுடன் அதிக பொருள் தூய்மை. குறைந்த மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை, சிலிக்கான் செதில்களின் இரண்டாம் நிலை மாசுபடுவதைத் தடுக்கிறது; 0.1μm க்குக் கீழே RA உடன் சிறந்த மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை கட்டுப்பாடு, துகள் உதிர்தலை அடக்குகிறது மற்றும் மேம்பட்ட செயல்முறைகளின் தூய்மையான அறை தேவைகளை பூர்த்தி செய்கிறது;

4. ஒரு துண்டு மோல்டிங், துல்லியமான-இயந்திர செதில் படகு கட்டமைப்புகள் மோல்ட்லெஸ் மூலம் நேரடியாக உருவாக்கப்படலாம்3 டி அச்சிடுதல், அச்சுகளின் தேவையை நீக்குதல், தனிப்பயனாக்குதல் செயல்திறனை கணிசமாக மேம்படுத்துதல்; ஐந்து-அச்சு எந்திரம் மற்றும் கம்பி வெட்டும் தொழில்நுட்பத்துடன் இணைந்து, படகின் பற்கள் பர் இல்லாதவை, செதில்களில் கீறல்களைத் தடுக்கின்றன மற்றும் மென்மையான தானியங்கி கையாளுதலை உறுதி செய்கின்றன;

5. அதிக வலிமை மற்றும் நீண்ட ஆயுள்: 

ஒற்றை படகு அதிக சுமை தாங்கும் வலிமையைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் ஒரே நேரத்தில் டஜன் கணக்கான முதல் நூற்றுக்கணக்கான 12 அங்குல செதில்களை ஆதரிக்க முடியும். பாரம்பரிய குவார்ட்ஸ் படகுகளுடன் ஒப்பிடும்போது, ​​படகின் சராசரி ஆயுட்காலம் 5-10 மடங்கு நீளமானது, இது உபகரணங்கள் மாற்ற அதிர்வெண் மற்றும் உரிமையின் மொத்த செலவைக் குறைக்கிறது.

பயன்பாட்டு காட்சி

இன் பரந்த தகவமைப்புசிலிக்கான் கார்பைடு வேஃபர் படகுகள்குறைக்கடத்தி புலத்திற்கு அப்பால் அவற்றின் பயன்பாட்டை புதிய எரிசக்தி பொருட்கள், எல்.ஈ.டி உற்பத்தி மற்றும் அணுசக்தி ஆராய்ச்சி உள்ளிட்ட பல்வேறு உயர் வெப்பநிலை செயல்முறை காட்சிகளுக்கு விரிவுபடுத்துகிறது.

குறைக்கடத்தி தொழில்

ஆக்சிஜனேற்றம், பரவல், சி.வி.டி படிவு மற்றும் அயன் உள்வைப்பு போன்ற முக்கிய செயல்முறைகளுக்கு இது பொருத்தமானது, இது துணை 7 என்எம் செயல்முறை கோடுகளுக்கு இன்றியமையாத உயர் வெப்பநிலை கேரியராக மாறும்.

ஒளிமின்னழுத்த தொழில்

டாப்கான் மற்றும் எச்.ஜே.டி போன்ற வளர்ந்து வரும் பேட்டரி தொழில்நுட்பங்களில், எல்பிசிவிடி மற்றும் அனீலிங் போன்ற உயர் வெப்பநிலை உலை செயல்முறைகளில் செதில் படகுகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, இது ஆற்றல் திறன் மற்றும் மாற்று விகிதங்களை மேம்படுத்த உதவுகிறது.

மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்திகள்

எல்.ஈ.டிகளில் GAN மற்றும் SIC எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறைகளுக்கு, அவை சபையர் அல்லது சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறுகளை ஆதரிக்கின்றன. அவை NH₃ மற்றும் HCl போன்ற அரிக்கும் வாயுக்களைத் தாங்கி, உயர் அதிர்வெண் சக்தி சாதனங்களை தயாரிப்பதை ஆதரிக்கின்றன.

புதிய எரிசக்தி பொருட்கள் மற்றும் ஆராய்ச்சி உயர் வெப்பநிலை தளம்

லித்தியம் பேட்டரி கேத்தோடு பொருட்களின் சின்தேரிங் எதிர்வினை மற்றும் அணுசக்தி தொழில் பொருட்களின் வெப்ப சிகிச்சையை ஆதரிக்கிறது, வெப்ப எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் தூய்மை ஆகியவற்றை இணைக்கிறது.

செமிகோரெக்ஸ் அதிக தூய்மையை வழங்குகிறதுதனிப்பயனாக்கப்பட்ட SIC WAFER படகுகள். உங்களிடம் ஏதேனும் விசாரணைகள் இருந்தால் அல்லது கூடுதல் விவரங்கள் தேவைப்பட்டால், தயவுசெய்து எங்களுடன் தொடர்பு கொள்ள தயங்க வேண்டாம்.

தொலைபேசி # +86-13567891907 ஐ தொடர்பு கொள்ளவும்

மின்னஞ்சல்: sales@semicorex.com