குறைக்கடத்தியில் உள்ள அலகு: ஆங்ஸ்ட்ராம்

ஆங்ஸ்ட்ராம் என்றால் என்ன?

ஆங்ஸ்ட்ராம் (சின்னம்: Å) என்பது மிகச்சிறிய நீள அலகு ஆகும், இது முதன்மையாக அணுக்கள் மற்றும் மூலக்கூறுகளுக்கு இடையிலான தூரம் அல்லது செதில் உற்பத்தியில் மெல்லிய படங்களின் தடிமன் போன்ற நுண்ணிய நிகழ்வுகளின் அளவை விவரிக்கப் பயன்படுகிறது. ஒரு ஆங்ஸ்ட்ரோம் \(10^{-10}\) மீட்டர்களுக்குச் சமம், இது 0.1 நானோமீட்டர்களுக்கு (nm) சமம்.

இந்தக் கருத்தை இன்னும் உள்ளுணர்வாக விளக்குவதற்கு, பின்வரும் ஒப்புமையைக் கவனியுங்கள்: மனித முடியின் விட்டம் தோராயமாக 70,000 நானோமீட்டர்கள், அதாவது 700,000 Å. பூமியின் விட்டம் 1 மீட்டர் என நாம் கற்பனை செய்தால், 1 Å என்பது பூமியின் மேற்பரப்பில் உள்ள ஒரு சிறிய மணலின் விட்டத்துடன் ஒப்பிடும்.

ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்று உற்பத்தியில், ஆங்ஸ்ட்ராம் மிகவும் பயனுள்ளதாக இருக்கிறது, ஏனெனில் இது சிலிக்கான் ஆக்சைடு, சிலிக்கான் நைட்ரைடு மற்றும் டோப் செய்யப்பட்ட அடுக்குகள் போன்ற மிக மெல்லிய படல அடுக்குகளின் தடிமன் விவரிக்க ஒரு துல்லியமான மற்றும் வசதியான வழியை வழங்குகிறது. குறைக்கடத்தி செயல்முறை தொழில்நுட்பத்தின் முன்னேற்றத்துடன், தடிமனைக் கட்டுப்படுத்தும் திறன் தனிப்பட்ட அணு அடுக்குகளின் அளவை எட்டியுள்ளது, இது ஆங்ஸ்ட்ரோமை புலத்தில் இன்றியமையாத அலகு ஆக்குகிறது.

ஒருங்கிணைந்த சுற்று உற்பத்தியில், ஆங்ஸ்ட்ரோம்களின் பயன்பாடு விரிவானது மற்றும் முக்கியமானது. இந்த அளவீடு மெல்லிய படல படிவு, பொறித்தல் மற்றும் அயனி பொருத்துதல் போன்ற முக்கிய செயல்முறைகளில் குறிப்பிடத்தக்க பங்கு வகிக்கிறது. கீழே பல பொதுவான காட்சிகள் உள்ளன:

1. மெல்லிய பட தடிமன் கட்டுப்பாடு

சிலிக்கான் ஆக்சைடு (SiO₂) மற்றும் சிலிக்கான் நைட்ரைடு (Si₃N₄) போன்ற மெல்லிய படலப் பொருட்கள் பொதுவாக குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் மின்காப்பு அடுக்குகள், முகமூடி அடுக்குகள் அல்லது மின்கடத்தா அடுக்குகளாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. இந்த படங்களின் தடிமன் சாதனத்தின் செயல்திறனில் முக்கிய தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகிறது.  

எடுத்துக்காட்டாக, MOSFET இன் கேட் ஆக்சைடு அடுக்கு (உலோக ஆக்சைடு குறைக்கடத்தி புலம்-விளைவு டிரான்சிஸ்டர்) பொதுவாக சில நானோமீட்டர்கள் அல்லது சில ஆங்ஸ்ட்ராம்கள் தடிமனாக இருக்கும். அடுக்கு மிகவும் தடிமனாக இருந்தால், அது சாதனத்தின் செயல்திறனைக் குறைக்கலாம்; அது மிகவும் மெல்லியதாக இருந்தால், அது முறிவுக்கு வழிவகுக்கும். இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) மற்றும் அணு அடுக்கு படிவு (ALD) தொழில்நுட்பங்கள் ஆங்ஸ்ட்ராம்-நிலை துல்லியத்துடன் மெல்லிய படலங்களை படிவு செய்ய அனுமதிக்கின்றன, தடிமன் வடிவமைப்பு தேவைகளை பூர்த்தி செய்வதை உறுதி செய்கிறது.

2. ஊக்கமருந்து கட்டுப்பாடு  

அயனி பொருத்துதல் தொழில்நுட்பத்தில், உட்செலுத்தப்பட்ட அயனிகளின் ஊடுருவல் ஆழம் மற்றும் அளவு ஆகியவை குறைக்கடத்தி சாதனத்தின் செயல்திறனை கணிசமாக பாதிக்கின்றன. உள்வைப்பு ஆழத்தின் விநியோகத்தை விவரிக்க ஆங்ஸ்ட்ரோம்கள் அடிக்கடி பயன்படுத்தப்படுகின்றன. எடுத்துக்காட்டாக, ஆழமற்ற சந்திப்பு செயல்முறைகளில், உள்வைப்பு ஆழம் பல்லாயிரக்கணக்கான ஆங்ஸ்ட்ரோம்கள் வரை சிறியதாக இருக்கும்.

3. பொறித்தல் துல்லியம்

உலர் செதுக்கலில், அடிப்படைப் பொருளைச் சேதப்படுத்தாமல் இருக்க, பொறித்தல் வீதத்தின் மீது துல்லியமான கட்டுப்பாடு மற்றும் ஆங்ஸ்ட்ராம் நிலைக்கு நேரத்தை நிறுத்துவது அவசியம். எடுத்துக்காட்டாக, ஒரு டிரான்சிஸ்டரின் கேட் பொறிப்பின் போது, ​​அதிகப்படியான செதுக்குதல் செயல்திறன் குறைவதற்கு வழிவகுக்கும்.

4. அணு அடுக்கு படிவு (ALD) தொழில்நுட்பம்

ALD என்பது ஒரு நேரத்தில் ஒரு அணு அடுக்கு பொருட்களைப் படியச் செய்யும் ஒரு நுட்பமாகும், ஒவ்வொரு சுழற்சியும் பொதுவாக 0.5 முதல் 1 Å வரையிலான படத் தடிமன் கொண்டது. உயர்-மின்கடத்தா மாறிலி (உயர்-கே) பொருட்களுடன் பயன்படுத்தப்படும் கேட் மின்கடத்தா போன்ற மிக மெல்லிய பிலிம்களை உருவாக்க இந்தத் தொழில்நுட்பம் குறிப்பாகப் பயனளிக்கிறது.

Semicorex உயர்தரத்தை வழங்குகிறதுகுறைக்கடத்தி செதில்கள். உங்களிடம் ஏதேனும் விசாரணைகள் இருந்தால் அல்லது கூடுதல் விவரங்கள் தேவைப்பட்டால், தயவுசெய்து எங்களைத் தொடர்புகொள்ள தயங்க வேண்டாம்.

தொடர்பு தொலைபேசி எண் +86-13567891907

மின்னஞ்சல்: sales@semicorex.com