பொறித்தல் செயல்முறை அளவுருக்கள்

பொறித்தல்சிலிக்கான் செதில்களில் மினிட் சர்க்யூட் கட்டமைப்புகளை உருவாக்க பயன்படும் சிப் தயாரிப்பில் இது ஒரு முக்கியமான படியாகும். குறிப்பிட்ட வடிவமைப்புத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதற்காக இரசாயன அல்லது இயற்பியல் வழிமுறைகள் மூலம் பொருள் அடுக்குகளை அகற்றுவது இதில் அடங்கும். இந்த கட்டுரை முழுமையற்ற பொறித்தல், அதிக பொறித்தல், எட்ச் விகிதம், குறைத்தல், தேர்ந்தெடுப்பு, சீரான தன்மை, விகித விகிதம் மற்றும் ஐசோட்ரோபிக்/அனிசோட்ரோபிக் பொறித்தல் உள்ளிட்ட பல முக்கிய எச்சிங் அளவுருக்களை அறிமுகப்படுத்தும்.

முழுமையற்றது என்னபொறித்தல்?

பொறித்தல் செயல்பாட்டின் போது நியமிக்கப்பட்ட பகுதியில் உள்ள பொருள் முழுவதுமாக அகற்றப்படாதபோது முழுமையற்ற பொறிப்பு ஏற்படுகிறது, மீதமுள்ள அடுக்குகளை வடிவ துளைகள் அல்லது பரப்புகளில் விட்டுவிடும். போதுமான பொறிப்பு நேரம் அல்லது சீரற்ற பட தடிமன் போன்ற பல்வேறு காரணிகளால் இந்த நிலைமை ஏற்படலாம்.

அதிகமாக -பொறித்தல்

தேவையான அனைத்து பொருட்களையும் முழுவதுமாக அகற்றுவதை உறுதிசெய்யவும், மேற்பரப்பு அடுக்கு தடிமன் மாறுபாடுகளைக் கணக்கிடவும், ஒரு குறிப்பிட்ட அளவு அதிகப்படியான பொறிப்பு பொதுவாக வடிவமைப்பில் இணைக்கப்பட்டுள்ளது. இதன் பொருள் உண்மையான பொறித்தல் ஆழம் இலக்கு மதிப்பை மீறுகிறது. அடுத்தடுத்த செயல்முறைகளின் வெற்றிகரமான செயல்பாட்டிற்கு பொருத்தமான அதிகப்படியான பொறித்தல் அவசியம்.

எட்ச்மதிப்பிடவும்

எட்ச் வீதம் என்பது ஒரு யூனிட் நேரத்திற்கு அகற்றப்பட்ட பொருளின் தடிமன் மற்றும் பொறித்தல் செயல்திறனின் முக்கியமான குறிகாட்டியாகும். ஒரு பொதுவான நிகழ்வு ஏற்றுதல் விளைவு ஆகும், அங்கு போதுமான வினைத்திறன் பிளாஸ்மா குறைக்கப்பட்ட எட்ச் விகிதங்கள் அல்லது சீரற்ற எட்ச் விநியோகத்திற்கு வழிவகுக்கிறது. அழுத்தம் மற்றும் சக்தி போன்ற செயல்முறை நிலைமைகளை சரிசெய்வதன் மூலம் இதை மேம்படுத்தலாம்.

குறைத்தல்

அண்டர்கட்டிங் எப்போது ஏற்படுகிறதுபொறித்தல்இலக்கு பகுதியில் மட்டும் நிகழவில்லை ஆனால் ஒளிச்சேர்க்கையின் விளிம்புகளில் கீழ்நோக்கி நீண்டுள்ளது. இந்த நிகழ்வு சாய்ந்த பக்கச்சுவர்களை ஏற்படுத்தும், இது சாதனத்தின் பரிமாண துல்லியத்தை பாதிக்கிறது. வாயு ஓட்டம் மற்றும் பொறிக்கும் நேரத்தைக் கட்டுப்படுத்துவது குறைப்பு நிகழ்வைக் குறைக்க உதவுகிறது.

தேர்ந்தெடுக்கும் திறன்

தேர்ந்தெடுப்பு என்பது விகிதமாகும்முதலியனஒரே நிபந்தனைகளின் கீழ் இரண்டு வெவ்வேறு பொருட்களுக்கு இடையேயான விகிதங்கள். எந்தெந்த பகுதிகள் பொறிக்கப்பட்டுள்ளன மற்றும் எவை தக்கவைக்கப்படுகின்றன, இது சிக்கலான பல அடுக்கு கட்டமைப்புகளை உருவாக்குவதற்கு முக்கியமானதாக இருக்கும்.

சீரான தன்மை

ஒரே மாதிரியானது ஒரு முழு செதில் அல்லது தொகுதிகளுக்கு இடையில் பொறித்தல் விளைவுகளின் நிலைத்தன்மையை அளவிடுகிறது. நல்ல சீரான தன்மை ஒவ்வொரு சிப்புக்கும் ஒரே மாதிரியான மின் பண்புகள் இருப்பதை உறுதி செய்கிறது.

தோற்ற விகிதம்

அம்சத்தின் உயரம் மற்றும் அகலத்தின் விகிதமாக தோற்ற விகிதம் வரையறுக்கப்படுகிறது. தொழில்நுட்பம் வளரும்போது, ​​சாதனங்களை மிகவும் கச்சிதமான மற்றும் திறமையானதாக மாற்ற அதிக விகிதங்களுக்கான தேவை அதிகரித்து வருகிறது. இருப்பினும், இது சவால்களை முன்வைக்கிறதுபொறித்தல், இது செங்குத்துத்தன்மையை பராமரிக்க வேண்டும், அதே நேரத்தில் அடிப்பகுதியில் அதிகப்படியான அரிப்பைத் தவிர்க்கிறது.

ஐசோட்ரோபிக் மற்றும் அனிசோட்ரோபிக் செய்வது எப்படிபொறித்தல்வித்தியாசமா?

ஐசோட்ரோபிக்பொறித்தல்எல்லா திசைகளிலும் ஒரே மாதிரியாக நிகழ்கிறது மற்றும் சில குறிப்பிட்ட பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றது. மாறாக, அனிசோட்ரோபிக் பொறித்தல் முதன்மையாக செங்குத்து திசையில் முன்னேறுகிறது, இது துல்லியமான முப்பரிமாண கட்டமைப்புகளை உருவாக்குவதற்கு ஏற்றதாக அமைகிறது. நவீன ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்று உற்பத்தி பெரும்பாலும் சிறந்த வடிவக் கட்டுப்பாட்டிற்கு பிந்தையதை ஆதரிக்கிறது.

செமிகோரெக்ஸ் குறைக்கடத்திக்கான உயர்தர SiC/TaC தீர்வுகளை வழங்குகிறதுICP/PSS பொறித்தல் மற்றும் பிளாஸ்மா பொறித்தல்செயல்முறை. உங்களிடம் ஏதேனும் விசாரணைகள் இருந்தால் அல்லது கூடுதல் விவரங்கள் தேவைப்பட்டால், தயவுசெய்து எங்களைத் தொடர்புகொள்ள தயங்க வேண்டாம்.

தொடர்பு தொலைபேசி எண் +86-13567891907

மின்னஞ்சல்: sales@semicorex.com