ஏன் SiC-கோடட் கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்களை தேர்வு செய்ய வேண்டும்?

கிராஃபைட் உறிஞ்சிMOCVD உபகரணங்களில் இன்றியமையாத பாகங்களில் ஒன்றாகும், இது வேஃபர் அடி மூலக்கூறின் கேரியர் மற்றும் ஹீட்டர் ஆகும். வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் வெப்ப சீரான தன்மை ஆகியவற்றின் பண்புகள் செதில் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் தரத்தில் ஒரு தீர்க்கமான பாத்திரத்தை வகிக்கின்றன, இது அடுக்கு பொருட்களின் சீரான தன்மை மற்றும் தூய்மையை நேரடியாக தீர்மானிக்கிறது, இதன் விளைவாக அதன் தரம் எபிடாக்ஸி தயாரிப்பை நேரடியாக பாதிக்கிறது. இதற்கிடையில், பயன்பாடுகளின் எண்ணிக்கை அதிகரிப்பு மற்றும் வேலை நிலைமைகளில் ஏற்படும் மாற்றங்களுடன், அதை இழப்பது மிகவும் எளிதானது மற்றும் நுகர்பொருட்களுக்கு சொந்தமானது. கிராஃபைட்டின் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் நிலைப்புத்தன்மை அதை ஒரு நல்ல நன்மையாக ஆக்குகிறதுMOCVD உபகரணங்களுக்கான அடிப்படை கூறு. இருப்பினும், தூய கிராஃபைட்டை மட்டுமே பயன்படுத்தினால், அது சில சிக்கல்களை எதிர்கொள்ளும். உற்பத்தி செயல்பாட்டில் அரிக்கும் வாயு மற்றும் உலோக கரிம எச்சங்கள் இருக்கும், மேலும் கிராஃபைட் அடித்தளம் அரிக்கப்பட்டு, தூள் கீழே விழும், இது அதன் சேவை வாழ்க்கையை வெகுவாகக் குறைக்கிறது.கிராஃபைட் உறிஞ்சி, மற்றும் விழுந்த கிராஃபைட் தூள் சில்லுகளுக்கு மாசுபாட்டை ஏற்படுத்தும், எனவே அடித்தளத்தை தயாரிக்கும் செயல்முறையிலும் இந்த சிக்கல்கள் அடித்தளத்தை தயாரிக்கும் போது தீர்க்கப்பட வேண்டும். பூச்சு தொழில்நுட்பம் மேற்பரப்பு தூள் சரிசெய்தல், வெப்ப கடத்துத்திறனை மேம்படுத்துதல் மற்றும் வெப்ப விநியோகத்தை சமன் செய்யலாம், இது இந்த சிக்கலை தீர்க்க முக்கிய தொழில்நுட்பமாகிறது. இந்த சிக்கலை தீர்க்க முக்கிய தொழில்நுட்பம் உள்ளது. பயன்பாட்டு சூழல் மற்றும் தேவைகளுக்கு ஏற்பகிராஃபைட் உறிஞ்சிகள், மேற்பரப்பு பூச்சு பின்வரும் பண்புகளைக் கொண்டிருக்க வேண்டும்.

அதிக அடர்த்தி மற்றும் முழு மடக்குதல்: ஒட்டுமொத்தமாக கிராஃபைட் தளம் அதிக வெப்பநிலை, அரிக்கும் வேலை சூழலில் உள்ளது, மேற்பரப்பு முழுமையாக மூடப்பட்டிருக்க வேண்டும், அதே நேரத்தில் பூச்சு ஒரு நல்ல பாதுகாப்பு பாத்திரத்தை வகிக்க நல்ல அடர்த்தியைக் கொண்டிருக்க வேண்டும்.

நல்ல மேற்பரப்பு தட்டையான தன்மை: ஒற்றை படிக வளர்ச்சிக்கு பயன்படுத்தப்படும் கிராஃபைட் தளத்திற்கு மிக உயர்ந்த மேற்பரப்பு தட்டையான தன்மை தேவைப்படுவதால், பூச்சு தயாரிக்கப்பட்ட பிறகு அடித்தளத்தின் அசல் தட்டையான தன்மை பராமரிக்கப்பட வேண்டும், அதாவது பூச்சு மேற்பரப்பு சீரானதாக இருக்க வேண்டும்.

நல்ல பிணைப்பு வலிமை: கிராஃபைட் அடித்தளத்திற்கும் பூச்சுப் பொருளுக்கும் இடையிலான வெப்ப விரிவாக்கக் குணகத்தின் வேறுபாட்டைக் குறைப்பது அவற்றுக்கிடையேயான பிணைப்பு வலிமையை திறம்பட மேம்படுத்தலாம், மேலும் அதிக மற்றும் குறைந்த வெப்பநிலை வெப்பச் சுழற்சிகளுக்குப் பிறகு பூச்சு சிதைவது எளிதானது அல்ல.

உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன்: உயர்தர சிப் வளர்ச்சிக்கு கிராஃபைட் தளத்திலிருந்து வேகமான மற்றும் சீரான வெப்பம் தேவைப்படுகிறது, எனவே பூச்சு பொருள் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறனைக் கொண்டிருக்க வேண்டும்.

அதிக உருகுநிலை, உயர் வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு: பூச்சு அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் வேலை சூழல்களில் நிலையாக வேலை செய்ய முடியும்.