MOCVD முக்கிய கருவியாகும்

MOCVD உபகரணங்கள் குறைக்கடத்தி தொழில்துறையின் உற்பத்தி செயல்முறையில் முக்கிய கருவியாகும், ஆனால் குறைக்கடத்தி தொழில் சங்கிலியில் (மூன்று முக்கிய செயல்முறைகள் & உபகரணங்கள்: லித்தோகிராபி, எச்சிங், மெல்லிய பட டெபாசிஷன்), LED உற்பத்தி வரி முதலீடு, MOCVD ஆகியவற்றில் உபகரண முதலீட்டில் பெரும் பங்கு உள்ளது. முதலீட்டுத் தொகை 50% வரை இருக்கலாம். CVD உபகரணங்களில், அடி மூலக்கூறை நேரடியாக உலோகத்தின் மீது வைக்கவோ அல்லது எபிடாக்சியல் படிவுக்கான அடித்தளத்தின் மேல் வைக்கவோ முடியாது, ஏனெனில் இது வாயு ஓட்டத்தின் திசை (கிடைமட்ட, செங்குத்து), வெப்பநிலை, அழுத்தம், நிலைப்படுத்தல் போன்ற பல்வேறு காரணிகளின் செல்வாக்கை உள்ளடக்கியது. , அசுத்தங்கள் சிந்தும். எனவே, ஒரு அடிப்படை பயன்படுத்தப்படுகிறது மற்றும் அடி மூலக்கூறு ஒரு வட்டில் வைக்கப்பட்டு, பின்னர் CVD தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்தி அடி மூலக்கூறின் மேல் எபிடாக்சியல் படிவு செய்யப்படுகிறது. இந்த அடிப்படை SiC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் ஆகும்உறிஞ்சி(அதையும் அழைக்கலாம்கேரியர்), மற்றும் அதன் அமைப்பு கீழே உள்ள படத்தில் காட்டப்பட்டுள்ளது.