CVD உலை பற்றி விவாதிக்கிறது

அ என்பது என்னCVD உலை?

CVD (ரசாயன நீராவி படிவு) உலை என்பது செமிகண்டக்டர் துறையில் பல்வேறு பொருட்களின் மெல்லிய படலங்களை அடி மூலக்கூறில் வைப்பதற்குப் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு வகையான உலை ஆகும். இந்த செயல்முறை ஒரு வெற்றிடத்தில் அல்லது குறைந்த அழுத்த சூழலில் மேற்கொள்ளப்படுகிறது, ஒரு எதிர்வினை வாயுவைப் பயன்படுத்தி, அடி மூலக்கூறு பொருளுடன் வினைபுரிந்து விரும்பிய மெல்லிய படத்தை உருவாக்குகிறது. CVD உலை என்பது மைக்ரோசிப்கள், சூரிய மின்கலங்கள் மற்றும் பிற மின்னணு சாதனங்களை உற்பத்தி செய்வதற்கான ஒரு முக்கியமான கருவியாகும்.

CVD உலை எப்படி வேலை செய்கிறது?

CVD உலைஒரு அறைக்குள் ஒரு குறைந்த அழுத்த சூழலை உருவாக்கி, அறைக்குள் ஒரு எதிர்வினை வாயுவை அறிமுகப்படுத்துவதன் மூலம் செயல்படுகிறது. வாயு அடி மூலக்கூறுடன் வினைபுரிந்து அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பில் மெல்லிய படலத்தை உருவாக்குகிறது. இந்த செயல்முறை அதிக வெப்பநிலையில் மேற்கொள்ளப்படுகிறது, பொதுவாக 500°C முதல் 1200°C வரை, டெபாசிட் செய்யப்படும் பொருளின் வகையைப் பொறுத்து.

அடி மூலக்கூறு பொருள் உலை அறைக்குள் வைக்கப்பட்டு, அறை சீல் வைக்கப்படுகிறது. எதிர்வினை வாயு பின்னர் அறைக்குள் அறிமுகப்படுத்தப்பட்டு அதிக வெப்பநிலைக்கு வெப்பப்படுத்தப்படுகிறது. வாயு மூலக்கூறுகள் அடி மூலக்கூறு பொருளுடன் வினைபுரிகின்றன, இதன் விளைவாக வரும் தயாரிப்பு அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பில் ஒரு மெல்லிய படத்தை உருவாக்குகிறது.

CVD உலைகளின் பயன்பாடுகள் என்ன?

CVD உலைசெமிகண்டக்டர் துறையில் பரவலான பயன்பாடுகளைக் கொண்டுள்ளது, அவற்றுள்:

1. மைக்ரோசிப் தயாரிப்பில் பயன்படுத்தப்படும் சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு, சிலிக்கான் நைட்ரைடு மற்றும் பிற மின்கடத்தா பொருட்களின் படிவு.

2. மைக்ரோசிப்கள் தயாரிப்பில் பயன்படுத்தப்படும் பாலிசிலிகான் மற்றும் பிற கடத்தும் பொருட்களின் படிவு.

3.அலுமினியம் மற்றும் தாமிரம் போன்ற உலோகப் படங்களின் படிவு, மைக்ரோசிப்பின் வெவ்வேறு அடுக்குகளுக்கு இடையே உள்ள இணைப்புகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

4. சூரிய மின்கலங்களின் உற்பத்திக்கான மெல்லிய படலங்களின் படிவு.

5. உடைகள்-எதிர்ப்பு பாகங்கள் மற்றும் கருவிகளின் உற்பத்திக்கான பூச்சுகளின் படிவு.

முடிவில்,CVD உலைமைக்ரோசிப்கள், சோலார் செல்கள் மற்றும் பிற மின்னணு சாதனங்களின் உற்பத்தியை செயல்படுத்தும், குறைக்கடத்தி தொழில்துறைக்கான முக்கியமான கருவியாகும். இது ஒரு அறைக்குள் ஒரு குறைந்த அழுத்த சூழலை உருவாக்கி, ஒரு மெல்லிய படலத்தை உருவாக்க அடி மூலக்கூறு பொருளுடன் வினைபுரியும் ஒரு எதிர்வினை வாயுவை அறிமுகப்படுத்துகிறது. அதன் பயன்பாடுகள் பரந்த மற்றும் மாறுபட்டவை, இது நவீன தொழில்நுட்பத்திற்கான ஒரு முக்கியமான கருவியாக அமைகிறது.