கிடைமட்ட SiC வேஃபர் படகு

செமிகோரெக்ஸ் கிடைமட்ட SiC வேஃபர் படகின் ஒரு வரையறுக்கும் அம்சம் அதன் உன்னிப்பாக வடிவமைக்கப்பட்ட துளையிடப்பட்ட கட்டிடக்கலை ஆகும், குறிப்பாக பல்வேறு உயர்-வெப்பநிலை செயல்முறைகள் முழுவதும் செதில்களை பாதுகாப்பாக வைத்திருக்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. இந்த துல்லியமான செதில் கட்டுப்பாடு பல முக்கியமான செயல்பாடுகளை செய்கிறது:

வேஃபர் இயக்கத்தை நீக்குதல்:தேவையற்ற ஸ்லைடிங் அல்லது ஷிஃப்டிங்கைத் தடுப்பதன் மூலம், கிடைமட்ட SiC வேஃபர் படகு, செயல்முறை வாயுக்கள் மற்றும் வெப்பநிலை விவரங்களுக்கு நிலையான வெளிப்பாட்டை உறுதிசெய்கிறது, அதிக சீரான செதில் செயலாக்கத்திற்கு பங்களிக்கிறது மற்றும் குறைபாடுகளின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது.

மேம்படுத்தப்பட்ட செயல்முறை சீரான தன்மை:நிலையான செதில் பொருத்துதல் என்பது அடுக்கு தடிமன், ஊக்கமருந்து செறிவுகள் மற்றும் மேற்பரப்பு உருவவியல் போன்ற முக்கியமான அளவுருக்களில் உயர்ந்த சீரான தன்மைக்கு நேரடியாக மொழிபெயர்க்கிறது. இந்த துல்லியமானது இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) மற்றும் பரவல் போன்ற பயன்பாடுகளில் மிகவும் முக்கியமானது, சிறிய மாறுபாடுகள் கூட சாதனத்தின் செயல்திறனை கணிசமாக பாதிக்கும்.

குறைக்கப்பட்ட வேஃபர் சேதம்:கிடைமட்ட SiC வேஃபர் படகின் பாதுகாப்பான பிடியானது, கையாளுதல் மற்றும் போக்குவரத்தின் போது செதில் சிப்பிங், உடைப்பு அல்லது அரிப்புக்கான சாத்தியக்கூறுகளைக் குறைக்கிறது, இது அதிக மகசூலைப் பராமரிக்கவும் உற்பத்திச் செலவுகளைக் குறைக்கவும் அவசியம்.

அவற்றின் துல்லியமான வடிவமைப்பிற்கு அப்பால், கிடைமட்ட SiC வேஃபர் படகு, குறைக்கடத்தி மற்றும் ஒளிமின்னழுத்த உற்பத்திக்கு ஏற்றதாக இருக்கும் பொருள் பண்புகளின் கட்டாய கலவையை வழங்குகிறது:

தீவிர வெப்பநிலை எதிர்ப்பு: கிடைமட்ட SiC வேஃபர் படகு விதிவிலக்கான உயர்-வெப்பநிலை வலிமை மற்றும் நிலைத்தன்மையை வெளிப்படுத்துகிறது, இது படிக வளர்ச்சி, அனீலிங் மற்றும் விரைவான வெப்ப செயலாக்கம் (RTP) போன்ற செயல்முறைகளின் போது ஏற்படும் தீவிர வெப்ப நிலைகளை சிதைப்பது அல்லது சிதைப்பது இல்லாமல் தாங்க அனுமதிக்கிறது.

மாசுக்கட்டுப்பாட்டுக்கான அல்ட்ரா-ஹை தூய்மை:உயர்-தூய்மை SiC இன் பயன்பாடு, குறைந்த வாயு வெளியேற்றம் அல்லது துகள் உற்பத்தியை உறுதி செய்கிறது, உணர்திறன் செதில் மேற்பரப்புகளின் ஒருமைப்பாட்டைப் பாதுகாக்கிறது மற்றும் சாதனத்தின் செயல்திறனை சமரசம் செய்யக்கூடிய மாசுபாட்டைத் தடுக்கிறது.

விதிவிலக்கான இரசாயன நிலைத்தன்மை:SiC இன் உள்ளார்ந்த செயலற்ற தன்மை, கிடைமட்ட SiC வேஃபர் படகை அரிக்கும் வாயுக்கள் மற்றும் பொதுவாக குறைக்கடத்தி மற்றும் ஒளிமின்னழுத்தத் தயாரிப்பில் பயன்படுத்தப்படும் இரசாயனங்கள் ஆகியவற்றிலிருந்து தாக்குதலைத் தாங்கும் திறன் கொண்டது. இந்த வலுவான இரசாயன நிலைத்தன்மை நீண்ட செயல்பாட்டு ஆயுளை உறுதி செய்கிறது மற்றும் செயல்முறை ஓட்டங்களுக்கு இடையில் குறுக்கு-மாசுபாட்டின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது.

கிடைமட்ட SiC வேஃபர் படகின் பல்துறை மற்றும் செயல்திறன் நன்மைகள், முக்கியமான குறைக்கடத்தி மற்றும் ஒளிமின்னழுத்த உற்பத்தி செயல்முறைகளின் வரம்பில் பரவலான ஏற்றுக்கொள்ளலுக்கு வழிவகுத்தது:

எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி:மேம்பட்ட செமிகண்டக்டர் சாதனங்களில் உயர்தர எபிடாக்சியல் அடுக்குகளை அடைவதற்கு துல்லியமான வேஃபர் பொசிஷனிங் மற்றும் வெப்பநிலை சீரான தன்மை ஆகியவை முக்கியமானவை.

பரவல் மற்றும் அயன் பொருத்துதல்:குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் மின் பண்புகளை வரையறுப்பதில் துல்லியமான ஊக்கமருந்து கட்டுப்பாடு மிக முக்கியமானது. கிடைமட்ட SiC வேஃபர் படகு இந்த செயல்முறைகளின் போது துல்லியமான செதில் பொருத்துதலை உறுதி செய்கிறது, இது மேம்பட்ட சீரான தன்மை மற்றும் சாதன செயல்திறனுக்கு வழிவகுக்கிறது.

சூரிய மின்கல உற்பத்தி:கிடைமட்ட SiC வேஃபர் படகின் உயர்-வெப்பநிலை திறன்கள் மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பு ஆகியவை ஒளிமின்னழுத்த மின்கலங்களில் பயன்படுத்தப்படும் சிலிக்கான் செதில்களை செயலாக்குவதற்கு சிறந்ததாக ஆக்குகிறது, இது சூரிய ஆற்றல் அமைப்புகளின் செயல்திறன் மற்றும் நீண்ட ஆயுளை அதிகரிக்க உதவுகிறது.