செமிகோரெக்ஸ் ஃபியூஸ் குவார்ட்ஸ் க்ரூசிபிள்ஸ் என்பது செமிகண்டக்டர் படிக வளர்ச்சிக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட உயர் தூய்மை கொள்கலன்கள் ஆகும், இது குறைபாடு இல்லாத செதில் உற்பத்திக்கு விதிவிலக்கான வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் மாசு எதிர்ப்பை வழங்குகிறது. உலகின் மிகவும் தேவைப்படும் குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளில் கடுமையான பொருள் தூய்மை கட்டுப்பாடு, துல்லியமான உற்பத்தி மற்றும் நிரூபிக்கப்பட்ட நம்பகத்தன்மை ஆகியவற்றிற்கு செமிகோரெக்ஸைத் தேர்வுசெய்க.*
செமிகோரெக்ஸ் இணைக்கப்பட்ட குவார்ட்ஸ் சிலுவைகள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படும் மதிப்புமிக்க நுகர்பொருட்கள், குறிப்பிடத்தக்க தூய்மை, வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் தீவிர வெப்பநிலை சூழல்களில் இயந்திர வலிமை. இந்த சிலுவைகள் அதிக தூய்மை சிலிக்கா மணலில் இருந்து தயாரிக்கப்படுகின்றன, அவை கிடைக்கக்கூடிய மிக உயர்ந்த அடர்த்தியை அடைய மிகவும் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட உருகும் நுட்பத்தைப் பயன்படுத்தி ஒன்றாக இணைக்கப்படுகின்றன, பெரும்பாலும் ஒரே மாதிரியான பொருளைக் கொண்டு அதன் கட்டமைப்பில் வரையறுக்கப்பட்ட சேர்த்தல்கள் அல்லது குமிழ்கள் உள்ளன, இது படிக புல்-பேக் மற்றும் செதில் தயாரிப்புகளுக்கு மிகவும் இனப்பெருக்கம் செய்யப்படுகிறது. இந்த சிலுவைகள் அதி-குறைந்த அளவிலான மாசுபாட்டைக் கொண்டுள்ளன, அவை சாதனத்தின் மகசூல் மற்றும் செயல்திறனை நேரடியாக பாதிக்கும் செயல்முறைகளுக்கு ஏற்றதாக இருக்கும்.
ஒற்றை படிக சிலிக்கான் வளர்ச்சியின் செக்ரால்ஸ்கி (CZ) முறைக்கு குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் இணைந்த குவார்ட்ஸ் சிலுவைகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. இணைந்த குவார்ட்ஸ் சிலுவைகள் அதிக வெப்ப எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளன, அவை பாலிசிலிகானை உருகுவதற்கு வெப்பநிலையைத் தாங்க அனுமதிக்கின்றன, அவை பெரும்பாலும் 1400 ° C ஐ விட அதிகமாக இருக்கும். கூடுதலாக, குவார்ட்ஸ் சிலுவைகள் வேதியியல் செயலற்றவை மற்றும் சிலிக்கானின் தூய்மையை பாதிக்கும் வகையில் பாலிசிலிகானுடன் செயல்படாது. இணைந்த குவார்ட்ஸ் சிலுவைகள் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டின் இழப்பு இல்லாமல் மிகவும் கணிசமான வெப்ப சைக்கிள் ஓட்டுதலுக்கு உட்படுத்தப்படலாம், மேலும் இது விதை ஒரு படிக கட்டமைப்பாக வளர்ச்சிக்கு ஒரு நிலையான நிலையை வழங்க முடியும், இதனால் குறைக்கடத்தி செதில்களில் தேவையான சீரான தன்மையை அடைகிறது.
திஇணைக்கப்பட்ட குவார்ட்ஸ்ஒளியியல் பண்புகள் மற்றும் இயந்திர பண்புகள் ஒரு குறைக்கடத்தி அமைப்பில் தனித்துவமான நன்மைகளை அளிக்கின்றன. வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குறைந்த குணகம் வெப்ப அதிர்ச்சி மற்றும் பரிமாண முரண்பாட்டைத் தணிக்கும், அதே நேரத்தில் குறைந்த வெப்ப நடத்தை படிகத்துடன் தொடர்புடைய படிக வளர்ச்சி உலையில் வெப்பநிலை சாய்வுகளைப் பாதுகாக்க உதவும். க்ரூசிபிலின் உள் மேற்பரப்பு மென்மையான கடந்த வெப்பமாக இருப்பது துகள் தலைமுறையை குறைக்கும், மேலும் சீரான உருகும் நடத்தையை ஊக்குவிக்கும், இது வளர்ந்த படிகத்தின் தூய்மையை மேலும் பாதுகாக்கும்.
ஒவ்வொரு இணைந்த குவார்ட்ஸ் க்ரூசிபிள் இணக்கத்தையும் உறுதிப்படுத்த பயன்படுத்தப்படும் உற்பத்தி செயல்முறைகள் கடுமையான பரிமாண சகிப்புத்தன்மை மற்றும் மேற்பரப்பு குணங்களைக் கொண்டுள்ளன. மூலப்பொருட்களின் தேர்வு உலோக அசுத்தங்களை அகற்றுவதற்காக திரையிடப்படுகிறது, வளிமண்டல வாயு மற்றும்/அல்லது துகள் மாசுபாட்டை மறுக்கும் ஒரு சிறப்பு சூழலில் உருகுவது நடைபெறுகிறது. குறைக்கடத்தி பயன்பாட்டின் அடிப்படையில், சிறிய ஆராய்ச்சி சிலுவைகள் முதல் 300 மிமீ செதில்களை உற்பத்தி செய்யும் திறன் கொண்ட பெரிய விட்டம் கொண்ட சிலுவைகள் வரை பல விட்டம் மற்றும் சுவர் தடிமன் ஆகியவற்றில் சிலுவை தயாரிக்கலாம்.
இணைந்த குவார்ட்ஸ் க்ரூசிபிலின் தனித்துவமான பண்புகள் ஏற்கனவே ஆயுள் மற்றும் செயல்திறனை மேம்படுத்தினாலும், தேவைப்படும்போது கூடுதல் சிறப்பு மேற்பரப்பு சிகிச்சைகள் அல்லது பூச்சுகளை பயன்படுத்தலாம். எடுத்துக்காட்டாக, சில செயல்முறைகளில் க்ரூசிபிலின் ஆயுட்காலம் மேம்படுத்த அல்லது உருகிய சிலிக்கானுக்கு ஆக்ஸிஜனின் அளவைக் குறைப்பதற்காக உள் சிலிக்கான் அடுக்கு வைப்புகளை உள்ளடக்கும். இந்த மேம்பாடுகள் ஒரு குவார்ட்ஸ் க்ரூசிபிலைப் பயன்படுத்தினால் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் செயல்திறனுக்கு உதவுகின்றன, ஏனெனில் இது மாற்றீட்டின் அதிர்வெண்ணைக் குறைக்கிறது மற்றும் படிகங்களின் அதிக விளைச்சலை ஏற்படுத்துகிறது.
குறைக்கடத்தி துறையில் புதிய செயல்முறைகளின் ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாட்டில் ஃபியூஸ் குவார்ட்ஸ் சிலுவைகள் ஒரு பங்கைக் கொண்டுள்ளன. அதன் தழுவல் பொறியாளர்களுக்கு மாற்று படிக வளரும் நுட்பங்கள், பொருட்கள் ஊக்கமருந்து தொழில்நுட்பங்கள் அல்லது சிலிக்கானுக்கு வெளியே புதிய குறைக்கடத்தி பொருட்களை ஆராயும் திறனை வழங்குகிறது, காலியம் ஆர்சனைடு அல்லது சிலிக்கான் கார்பைடு போன்றவை. தீவிர வேதியியல் மற்றும் வெப்ப நிலைமைகளைத் தாங்கும் இணைந்த குவார்ட்ஸ் க்ரூசிபிலின் திறன் பொறியாளர்களுக்கு வெகுஜன உற்பத்தி மற்றும் சோதனை புனையல் ஆகிய இரண்டிலும் இறுதி உத்தரவாதத்தை அளிக்கிறது.
செமிகோரெக்ஸ் இணைந்ததுகுவார்ட்ஸ்இன்றைய குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் சிலுவைகள் முக்கியமான கருவிகளாக மாறியுள்ளன, இதில் அதிக தூய்மை, உயர்ந்த வெப்ப பண்புகள் மற்றும் கண்டிப்பான தொழில் தரங்களைப் பொறுத்தவரை நம்பமுடியாத கட்டமைப்பு நிலைத்தன்மை ஆகியவை உள்ளன. ஆகவே, குறைபாடு இலவசத்தை உருவாக்கும் திறன், மற்றும் உயர் செயல்திறன் கொண்ட குறைக்கடத்தி செதில்கள் உலகெங்கிலும் உள்ள மின்னணு சாதனங்களின் நம்பகத்தன்மை மற்றும் செயல்திறனை நேரடியாக பாதிக்கின்றன.