பீங்கான் மின்னியல் சக்

செமிகோரெக்ஸ் செராமிக் எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக், அலுமினா செராமிக் மூலம் வடிவமைக்கப்பட்டது, பல்வேறு புனையமைப்பு செயல்முறைகளின் போது குறைக்கடத்தி செதில்களை பாதுகாப்பாக வைத்திருக்க அவசியம். பொருள் பண்புகளின் தனித்துவமான கலவையுடன், இந்த செராமிக் எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக், செமிகண்டக்டர் சாதனங்களின் உற்பத்தி முழுவதும் துல்லியம், நம்பகத்தன்மை மற்றும் செயல்திறனை உறுதி செய்வதில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது.

செராமிக் எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக்கின் மையத்தில் அலுமினா பீங்கான் உள்ளது, இது தொழில்துறையில் அதன் விதிவிலக்கான இயற்பியல் மற்றும் வேதியியல் பண்புகளுக்காக மிகவும் மதிக்கப்படுகிறது. அலுமினா (Al2O3) அதன் சிறந்த மின் காப்பு திறன்களுக்காக அறியப்படுகிறது, இது ESC இன் சூழலில் முக்கியமானது. குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தின் போது, ​​புனையப்படும் நுட்பமான சுற்றுகளை பாதிக்கக்கூடிய மின் குறுக்கீடு எதுவும் இல்லாமல் செதில்கள் உறுதியாக இருக்க வேண்டும். அலுமினா பீங்கான் உயர் மின்கடத்தா வலிமையானது, மின் வெளியேற்றத்தின் ஆபத்து இல்லாமல் தேவையான உயர் மின்னழுத்தங்களில் சக் செயல்படுவதை உறுதிசெய்கிறது, இது ஒரு நிலையான மற்றும் நம்பகமான கிளாம்பிங் சக்தியை வழங்குகிறது, இது செதில் நிலை மற்றும் ஒருமைப்பாட்டைப் பராமரிக்க இன்றியமையாதது.

செராமிக் எலெக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக், அலுமினா பீங்கான்களுக்குள் பதிக்கப்பட்ட மின்முனைகள் மூலம் மின்னியல் புலத்தை உருவாக்குவதன் மூலம் செயல்படுகிறது. மின்னழுத்தம் பயன்படுத்தப்படும்போது, ​​​​விளைவான புலம் ஒரு வலுவான கிளாம்பிங் விசையை உருவாக்குகிறது, இது சக்கின் மேற்பரப்பில் செதில்களைப் பாதுகாப்பாக வைத்திருக்கும். இந்த மெக்கானிக்கல் அல்லாத கிளாம்பிங் முறையானது செமிகண்டக்டர் செயலாக்கத்தில் குறிப்பாக சாதகமாக உள்ளது, ஏனெனில் இது உடல் தொடர்புகளை குறைக்கிறது மற்றும் மாசு மற்றும் இயந்திர சேதத்தின் அபாயத்தை குறைக்கிறது, இது மேம்பட்ட முனைகளுக்கு மிகவும் முக்கியமானது, இதில் சிறிய குறைபாடு கூட குறிப்பிடத்தக்க மகசூல் இழப்பை ஏற்படுத்தும்.

செராமிக் எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக்கின் தனித்துவமான அம்சங்களில் ஒன்று அதன் வெப்ப செயல்திறன் ஆகும். செமிகண்டக்டர் செயல்முறைகள் பெரும்பாலும் அதிக வெப்பநிலையை உள்ளடக்கியது, இது செதில் வெப்ப அழுத்தத்தை அறிமுகப்படுத்தும். அலுமினா பீங்கான் அதன் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறனுக்காக மதிப்பிடப்படுகிறது, இது செராமிக் எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக் செயலாக்கத்தின் போது உருவாகும் வெப்பத்தை திறமையாக வெளியேற்ற அனுமதிக்கிறது. இந்த வெப்ப மேலாண்மை திறன் செதில் முழுவதும் சீரான வெப்பநிலை விநியோகத்தை பராமரிக்க அவசியம், இதன் மூலம் வெப்ப சாய்வுகளை குறைக்கிறது, இது வார்ப்பிங் அல்லது மைக்ரோ-கிராக்கிங்கிற்கு வழிவகுக்கும். அலுமினா பீங்கான் வழங்கும் நிலைத்தன்மையானது, ஃபோட்டோலித்தோகிராபி மற்றும் செதுக்கல் போன்ற முக்கியமான செயல்முறைகள் துல்லியமாக மேற்கொள்ளப்படுவதை உறுதிசெய்கிறது, உற்பத்தி சுழற்சி முழுவதும் செதில்களின் ஒருமைப்பாட்டை பாதுகாக்கிறது.

மேலும், அலுமினா பீங்கான் இயந்திர வலிமையானது ESC இன் ஆயுள் மற்றும் ஆயுளுக்கு கணிசமாக பங்களிக்கிறது. குறைக்கடத்தி தயாரிப்பில், செராமிக் எலெக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக் செதில் வைப்பு, செயலாக்கம் மற்றும் அகற்றுதல் ஆகியவற்றின் தொடர்ச்சியான சுழற்சிகளுக்கு உட்படுத்தப்படுகிறது. அலுமினாவின் உடைகள் எதிர்ப்பானது சக் இந்த சுழற்சிகளை குறிப்பிடத்தக்க சிதைவு இல்லாமல் தாங்கும் என்பதை உறுதி செய்கிறது. அணிய இந்த எதிர்ப்பானது சக்கின் ஆயுட்காலத்தை நீடிப்பது மட்டுமின்றி, துகள்கள் உருவாகும் வாய்ப்பையும் குறைக்கிறது, இல்லையெனில் அது செதில்களை மாசுபடுத்தும் மற்றும் சாதனத்தின் தரத்தை சமரசம் செய்யலாம். பொருளின் கடினத்தன்மை என்பது சக் மேற்பரப்பு மென்மையாகவும் சீரானதாகவும் உள்ளது, இது நிலையான கிளாம்பிங் விசையை பராமரிப்பதற்கும் செதில் சேதத்தைத் தவிர்ப்பதற்கும் முக்கியமான காரணியாகும்.