குறைக்கடத்தியில் குவார்ட்ஸ் எதற்காகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது?

குறைக்கடத்தி உற்பத்தி துறையில், சிலிக்கான் படிக வளர்ச்சியில் இருந்து ஆக்சிஜனேற்ற பரவல் வரையிலான படிகள், செதுக்குதல் முதல் சுத்தம் செய்தல் வரை, குவார்ட்ஸ் கட்டமைப்பு கூறுகள் முழு செயல்முறையிலும் ஈடுபட்டுள்ளன. மேம்பட்ட செயல்முறைகளின் வளர்ச்சியுடன், உலோக அசுத்தங்கள் மற்றும் துகள்களால் மாசுபடுவதற்கான சகிப்புத்தன்மை ஒவ்வொரு அடியிலும் பெருகிய முறையில் குறைந்து வருகிறது.

திதொகுப்பு குவார்ட்ஸ்உயர் தூய்மை, குமிழி அல்லாத, சேர்க்கை துகள்கள், உயர் UV பரிமாற்றம் போன்ற புள்ளிவிவரங்கள் உள்ளன. இது மேம்பட்ட உற்பத்தி செயல்முறைகளில் பாரம்பரிய இயற்கை குவார்ட்ஸ் பொருட்களை படிப்படியாக மாற்றுகிறது, இது கணிசமாக மகசூலை மேம்படுத்துகிறது மற்றும் ஆயுட்காலம் நீட்டிக்க முடியும்.

01 பொறித்தல் வளையம்

பிளாஸ்மாவின் குண்டுவீச்சின் கீழ் (அதிக வினைத்திறன் கொண்ட ஃவுளூரின் மற்றும் குளோரின் அடிப்படையிலான வாயுக்கள் உள்ளன), பொருட்களுக்கு மிக அதிக இரசாயன செயலற்ற தன்மை மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு தேவைப்படுகிறது. அதே நேரத்தில், குவார்ட்ஸ் பொருட்கள் துகள் மாசுபடுவதைத் தடுக்க மிக உயர்ந்த தூய்மையைக் கொண்டிருக்க வேண்டும். பொறித்தல் வளையங்கள் நுகர்வு கூறுகள்; தற்போது, ​​பெரும்பாலான உபகரணங்கள் இயற்கை குவார்ட்ஸைப் பயன்படுத்துகின்றன. இருப்பினும், சில மேம்பட்ட செயல்முறைகள் (2nm, 5nm, மற்றும் 28nm க்கும் குறைவான பிற செயல்முறைகள்) துகள்கள் மற்றும் உலோக அயனிகளின் மீது கடுமையான கட்டுப்பாட்டின் காரணமாக செயற்கை குவார்ட்ஸ் பொறித்தல் வளையங்களுடன் அவற்றை மாற்றியுள்ளன.

02 குவார்ட்ஸ் டோம்

பொறித்தல் மற்றும் மெல்லிய-படப் படிவு (CVD போன்றவை) கருவிகளில் எதிர்வினை அறையின் மேற்புறத்தில் ஒரு வெளிப்படையான குவிமாடம் வடிவ கண்காணிப்பு சாளரம் நிறுவப்பட்டுள்ளது. செயல்முறை அறையை மாசுபடுத்துவதிலிருந்து அசுத்தங்களைத் தடுக்க மிக உயர்ந்த தூய்மை தேவைப்படுவது மட்டுமல்லாமல், செயல்முறையின் நிகழ்நேர கண்காணிப்பிற்காக கண்டறிதல் அமைப்பிலிருந்து ஒளி சமிக்ஞைகளை அனுமதிக்க சில ஆப்டிகல் பண்புகள் தேவைப்படுகின்றன. செயற்கை குவார்ட்ஸ், அதன் மிக அதிக ஒலிபரப்பு மற்றும் அதிக தூய்மையுடன், DOME (டிஃப்யூஷன் ஆக்சிடேஷன்) இல் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

03 உலை குழாய்

உயர்-வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்றம்/பரவல் உலைகளில், இது செதில்களை வைத்திருக்கும் மற்றும் செயல்முறை எதிர்வினையை மேற்கொள்ளும் மைய குழாய் கொள்கலனாக செயல்படுகிறது. மிக அதிக வெப்ப எதிர்ப்பு தேவைப்படுகிறது, 1200°C க்கும் அதிகமான வெப்பநிலையில் மென்மையாக அல்லது உருமாற்றம் இல்லாமல் நீண்ட கால செயல்பாட்டை செயல்படுத்துகிறது. இயற்கையான குவார்ட்ஸ், அதிக அல் உள்ளடக்கம் மற்றும் குறைந்த ஹைட்ராக்சில் உள்ளடக்கம் காரணமாக, அதிக வெப்ப எதிர்ப்பை அடைகிறது மற்றும் உலை குழாய்களில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இருப்பினும், மேம்பட்ட செயல்முறைகள் அறையில் உள்ள உலோக தூய்மையற்ற அயனிகள் மீது பெருகிய முறையில் கடுமையான கட்டுப்பாடுகளை விதிக்கின்றன, அதிக வெப்ப-எதிர்ப்பு செயற்கை குவார்ட்ஸ் பொருட்கள் படிப்படியாக இயற்கை குவார்ட்ஸ் உலை குழாய்களை மாற்றுகின்றன.

04 துப்புரவு தொட்டி

செதில்களை ஈரமான சுத்தம் செய்வதற்காக அதிக தூய்மையான, அதிக அரிக்கும் தன்மை கொண்ட துப்புரவு தீர்வுகளை (SC1, SC2, ஹைட்ரோஃப்ளூரிக் அமிலம், சல்பூரிக் அமிலம் போன்றவை) வைத்திருக்கப் பயன்படுகிறது. குவார்ட்ஸ் பொருட்கள் அமிலம் மற்றும் கார அரிப்புக்கு சிறந்த எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளன: அவை கிட்டத்தட்ட அனைத்து வலிமையான அமிலங்களின் (ஹைட்ரோஃப்ளூரிக் அமிலம் மற்றும் சூடான பாஸ்போரிக் அமிலம் தவிர) அரிப்பை எதிர்க்கும், நீண்ட கால பயன்பாட்டிற்கு தொட்டி துருப்பிடிக்காமல் இருப்பதை உறுதி செய்கிறது. இருப்பினும், நீடித்த பயன்பாட்டுடன், குவார்ட்ஸ் தொட்டியில் உள்ள உலோக அயனிகள் படிப்படியாக வெளியிடப்படுகின்றன, இதனால் எளிதில் மாசு ஏற்படுகிறது. PPB-தர செயற்கை குவார்ட்ஸ் உலோக அசுத்த அயனி மாசுபாட்டை திறம்பட குறைக்கிறது, மேலும் அதன் குமிழி-இல்லாத தன்மை மென்மையான, அடர்த்தியான மேற்பரப்புகளைச் செயலாக்குவதற்கு மிகவும் பொருத்தமானது, மாசுபடுத்தும் ஒட்டுதலைக் குறைக்கிறது.

05. UV க்யூரிங் ஜன்னல்

UV க்யூரிங் கருவிகளில் நிறுவப்பட்டுள்ளது, இது UV ஒளியை கடத்தும் சாளரமாக செயல்படுகிறது. அனைத்து ஆப்டிகல் பொருட்களிலும், செயற்கை குவார்ட்ஸ் ஆழமான புற ஊதா (DUV) க்கு புற ஊதா (UV) பட்டைகள் (185nm வரை) அதிக பரிமாற்றத்தைக் கொண்டுள்ளது. அதன் அதிக வலிமை மற்றும் கதிர்வீச்சு எதிர்ப்பானது, நீடித்த UV கதிர்வீச்சின் கீழ் அதன் செயல்திறன் சிதைவடையாது அல்லது நிறமாற்றம் செய்யாது என்பதை உறுதி செய்கிறது.

06. மேம்பட்ட பேக்கேஜிங் கேரியர்

மேம்பட்ட பேக்கேஜிங் செயல்முறைகளில் (Fan-Out, 2.5D/3D IC போன்றவை), செயற்கை குவார்ட்ஸ் கேரியர் செதில்களை தற்காலிகமாக ஆதரிக்கவும், சரிசெய்யவும், கொண்டு செல்லவும் மற்றும் செயலாக்கவும் அல்லது செதில்களை மறுகட்டமைக்கவும் கேரியர் தகடுகளாகப் பயன்படுத்தலாம். செயற்கை குவார்ட்ஸ் பொருள் சிறந்த தட்டையான மற்றும் விறைப்புத்தன்மையை அடைய செயலாக்க முடியும், தீவிர மெல்லிய சில்லுகளுக்கு உறுதியான ஆதரவை வழங்குகிறது மற்றும் செயல்முறை துல்லியத்தை உறுதி செய்கிறது.

Semicorex உயர் தரத்தை வழங்குகிறதுதனிப்பயனாக்கப்பட்ட குவார்ட்ஸ் கூறுகள்வெவ்வேறு செயலாக்கத்திற்கு. தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தீர்வுகள் அல்லது கூடுதல் தொழில்நுட்பத் தகவல்களுக்கு, தயவுசெய்து எங்கள் பொறியியல் குழுவைத் தொடர்புகொள்ளவும்.

தொலைபேசி: +86-13567891907

மின்னஞ்சல்: sales@semicorex.com