FUR செயல்முறைகளில் போலி வேஃபர்களை பயன்படுத்துவதற்கான காரணங்கள்

செமிகண்டக்டர் வெப்ப சிகிச்சை என்பது செமிகண்டக்டர் சிப் தயாரிப்பில் இன்றியமையாத செயல்முறைகள் ஆகும், இது செதில் ஆக்சிஜனேற்றம், பரவல், மெல்லிய-படம் படிதல் மற்றும் அனீலிங் போன்ற முக்கியமான செயல்முறைகளை உள்ளடக்கியது. இந்த செயல்முறைகள் உலைக் குழாயின் உள்ளே வெப்பநிலை, வாயு ஓட்டம் மற்றும் தூய்மை ஆகியவற்றின் சீரான தன்மைக்கு மிகவும் கடுமையான தேவைகளை விதிக்கின்றன. உற்பத்தியின் போது, ​​செயல்முறை சூழலில் உள்ள குறைபாடுகளை நிவர்த்தி செய்வதற்கும், செயல்முறை அளவுருக்களை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்துவதற்கும், சீரான செயலாக்கம் மற்றும் அதிக அளவில் உற்பத்தி செய்யப்படும் செதில்களின் அதிக மகசூலுக்கு உத்தரவாதம் அளிப்பதற்கும் தொழில் முழுவதும் போலி செதில்கள் பரவலாக ஏற்றுக்கொள்ளப்படுகின்றன.

போலி வேஃபர்ஸ்செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி செயல்முறைகளை உறுதிப்படுத்தும் முக்கிய துணை நுகர்பொருட்களாகப் பணியாற்றுகின்றன, உபகரண பிழைத்திருத்தம், செயல்முறை அளவுத்திருத்தம், செயல்முறை கண்காணிப்பு மற்றும் திறன் மேம்படுத்தல் ஆகியவற்றிற்கு பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

உலை குழாய் செயல்முறைகளுக்கு இரண்டு வகையான போலி வேஃபர்கள்

FUR வெப்ப சிகிச்சைக்காகஉலை குழாய்கள், வெவ்வேறு செயல்முறை இழப்பீட்டுத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதற்காக இரண்டு வகையான போலி செதில்கள் தொழில்துறையில் பிரதானமாக உள்ளன:

1. சைட் டம்மி வேஃபர்ஸ்

பக்க போலி செதில்கள் பொதுவாக செதில் படகின் முன் மற்றும் பின் முனைகளில் ஒரு செயல்முறை இடையக மண்டலத்தை உருவாக்க வைக்கப்படுகின்றன.

2. கூடுதல் டம்மி வேஃபர்ஸ்

முழு-சுமை உற்பத்தி நிலைமைகளை உருவகப்படுத்த, செதில் படகில் உள்ள காலி இடங்களை நிரப்ப கூடுதல் போலி செதில்கள் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

உலை குழாய் செயல்முறைகளில் போலி வேஃபர்களின் முக்கிய செயல்பாடுகள்

1. வெப்பநிலை சீரான கட்டுப்பாடு

A. வெப்ப திறன் இழப்பீடு

வெப்ப செயலாக்கத்திற்கான உலை குழாய்கள் ஒரு பெரிய எதிர்வினை அறைகளைக் கொண்டுள்ளன. வெப்ப செயலாக்கத்திற்கான உற்பத்தி செதில்கள் அனைத்து இடங்களையும் பூர்த்தி செய்யத் தவறினால், வெற்று நிலைகள் சீரற்ற வெப்ப விநியோகத்தால் ஏற்படும். இந்த வெற்று ஸ்லாட்டுகளில் போலிச் செதில்களை வைப்பது ஒட்டுமொத்த வெப்பத் திறனைச் சமன் செய்து செயல்முறை வெப்பநிலையை நிலைப்படுத்தலாம்.

B. எட்ஜ் விளைவு தணிப்பு

உலைக் குழாயின் இரு முனைகளிலும் வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கமாக இருக்கும். படகு விளிம்புகளில் அமைந்துள்ள உற்பத்தி செதில்களுக்கு சீரான வெப்பத்தை உறுதி செய்து, விளிம்புகளில் வெப்பக் கோளாறுகளைத் தடுக்க போலிச் செதில்களைப் பயன்படுத்தலாம்.

2. செயல்முறை எரிவாயு ஓட்டம் புலத்தின் சீரான தன்மை

காலி இடங்கள் வாயு சுழற்சியை சீர்குலைத்து, உலைக் குழாயின் உள்ளே சீரற்ற உள்ளூர் வாயு செறிவைத் தூண்டும். போலிச் செதில்கள் சீரான வாயு ஓட்டத்தை உறுதிப்படுத்துகின்றன, அனைத்து உற்பத்தி செதில்களின் மேற்பரப்பில் ஒரே மாதிரியான இரசாயன எதிர்வினை நிலைமைகளை ஆக்சிஜனேற்றம், பரவல், மெல்லிய-பட படிவு மற்றும் பிற செயல்முறைகளுக்கு உறுதி செய்கின்றன.

3. செயல்முறை அறை மாசு கட்டுப்பாடு

புதிய அல்லது பராமரிக்கப்படும் உலைக் குழாய்களின் உள் சுவரில் அசுத்தங்கள் (துகள்கள் மற்றும் உலோக அயனிகள் போன்றவை) இருக்கலாம். இந்த அசுத்தங்களை உறிஞ்சி, தயாரிப்பு செதில்களின் விளைச்சலை பாதிக்காமல் தடுக்க போலி செதில்களை "தியாக ஊடகமாக" பயன்படுத்தலாம்.

4. செயல்முறை கட்டுப்பாடு மற்றும் உற்பத்தி செலவு குறைப்பு

அனைத்து செயல்பாட்டு செதில்களுக்கும் மிகவும் சீரான செயல்முறை நிலைமைகளை வழங்க போலி செதில்கள் முழு-சுமை உற்பத்தி சூழல்களை பிரதிபலிக்கின்றன. புதிய செயல்முறை வளர்ச்சியின் போது, ​​மதிப்புமிக்க உற்பத்தி செதில்களை உட்கொள்ளாமல் போலி செதில்களில் அனைத்து சோதனை சோதனைகளும் மேற்கொள்ளப்படலாம். போலிச் செதில்களைத் தவிர்ப்பதால் ஏற்படும் மகசூல் இழப்புகள் மற்றும் நிலையற்ற செயல்முறைச் செலவுகள், போலிச் செதில்களின் கொள்முதல் செலவை விட அதிகமாக உள்ளது.

முடிவுரை

உலை குழாய் வெப்ப செயல்முறைகளுக்கு குறைந்த விலை, அதிக வருவாய் மற்றும் அத்தியாவசிய துணை தீர்வு என, போலி செதில்கள் நான்கு முக்கிய நன்மைகளை வழங்குகின்றன: வெப்ப திறன் இழப்பீடு, தரப்படுத்தப்பட்ட வாயு ஓட்டம், மாசுபடுத்தும் உறிஞ்சுதல் மற்றும் முழு-சுமை செயல்முறை உருவகப்படுத்துதல். அவை உலை குழாய்களுக்குள் வெப்பநிலை மற்றும் வாயு ஓட்டம் சீரான தன்மையை மேம்படுத்துகின்றன, செயல்முறை அளவுருக்களை உறுதிப்படுத்துகின்றன, பல்வேறு உற்பத்தி குறைபாடுகளை நீக்குகின்றன, மேலும் செதில் உற்பத்தியின் நிலைத்தன்மை, நிலைத்தன்மை மற்றும் விளைச்சலை பெரிதும் மேம்படுத்துகின்றன. செமிகண்டக்டர் துறையில் தரப்படுத்தப்பட்ட மற்றும் சுத்திகரிக்கப்பட்ட வெகுஜன உற்பத்திக் கட்டுப்பாட்டிற்கு போலி செதில்கள் ஒரு முக்கிய கருவியாகும்.