துல்லியமான மட்பாண்டங்கள், குறிப்பாக மேம்பட்ட கட்டமைப்பு மட்பாண்டங்கள், உயர்நிலை குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் தவிர்க்க முடியாத பொருட்கள், சிப் ஃபேப்ரிகேஷன், சோதனை மற்றும் பேக்கேஜிங் ஆகியவற்றிலிருந்து முழு தொழில் சங்கிலியையும் ஊடுருவிச் செல்கின்றன. அலுமினா, சிலிக்கான் நைட்ரைடு, அலுமினியம் நைட்ரைடு மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு போன்ற துல்லியமான மட்பாண்டங்கள், அதிக தூய்மை, அதிக வெப்ப எதிர்ப்பு, அதிக உடைகள் எதிர்ப்பு, வலுவான அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் உயர்ந்த மின் காப்பு ஆகியவற்றிற்கான குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளின் கடுமையான தேவைகளை முழுமையாக பூர்த்தி செய்கின்றன. குறைக்கடத்தி உபகரணங்களில், துல்லியமான மட்பாண்டங்கள் மொத்த மதிப்பில் தோராயமாக 16% ஆகும், மேலும் அவை செதில் மெருகூட்டல் இயந்திரங்கள், வெப்ப சிகிச்சை உபகரணங்கள், லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்கள், டெபாசிஷன் உபகரணங்கள், பொறித்தல் கருவிகள் மற்றும் அயன் பொருத்துதல் இயந்திரங்கள் உள்ளிட்ட உபகரணங்களுக்கான கூறுகளை தயாரிப்பதில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

விண்ணப்ப செயல்முறை	பீங்கான் கூறுகள்
CMP	பாலிஷ் மேசை, பாலிஷ் தட்டு, கையாளும் கை
போட்டோலித்தோகிராபி	வெற்றிட சக், வேஃபர் சக், ஒர்க் டேபிள், ஹேண்ட்லிங் ஆர்ம்
உயர் வெப்பநிலை செயலாக்கம் (RTP / எபிடாக்ஸி / ஆக்சிஜனேற்றம் / பரவல்)	இன்சுலேட்டர், பேஸ் சஸ்பெப்டர், செதில் படகு, உலை குழாய், கேன்டிலீவர் துடுப்பு
வைப்பு	அறை மூடி, அறை லைனர், படிவு வளையம், மின்னியல் சக், ஹீட்டர், எலக்ட்ரோபிளேட்டிங் இன்சுலேட்டர், வெற்றிட உடைப்பு வடிகட்டி
எட்ச்	குவிமாடம் மேல், அறை உடல், கவனம் வளையம், முனை, மின்னியல் சக், கையாளும் கை
அயன் உள்வைப்பு	தாங்கி, வெற்றிட சக், மின்னியல் சக்

---

I. சிப் ஃபேப்ரிகேஷன்: முக்கிய கூறுகள்

1. வேஃபர் செயலாக்கம்

A. மின்னியல் சக்ஸ்

எலெக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக்ஸ் பொதுவாக உயர் தூய்மையால் ஆனதுஅலுமினாமற்றும்அலுமினியம் நைட்ரைடுமட்பாண்டங்கள். பொறித்தல், இரசாயன நீராவி படிவு மற்றும் உடல் நீராவி படிவு போன்ற செயல்முறைகளின் போது குறைக்கடத்தி செதில்களை உறிஞ்சி சரிசெய்வது அவற்றின் முக்கிய செயல்பாடு ஆகும். இந்த செயல்முறைகளில், எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக்குகள் சிறந்த ஒட்டுமொத்த தட்டையான தன்மை, மின் காப்பு, பிளாஸ்மா அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் உட்புற வெப்பமூட்டும் மற்றும் குளிரூட்டும் அமைப்பின் மூலம் துல்லியமான வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு ஆகியவற்றைக் கொண்டிருக்க வேண்டும்.

பி. பொறித்தல் செயல்முறை கூறுகள்

செராமிக் லைனர்கள், ஃபோகஸ் ரிங்க்ஸ் மற்றும் கேஸ் டிஸ்டிரியூஷன் டிஸ்க்குகள் பொறித்தல் எதிர்வினை அறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் கூறுகள் பொதுவாக உயர் வெப்பநிலை மற்றும் கடுமையான அரிப்பு பொறித்தல் நிலைகளுக்கு நேரடியாக வெளிப்படும். இந்தத் தொழிற்துறை பொதுவாக யட்ரியம் ஆக்சைடு, அலுமினியம் நைட்ரைடு மற்றும் அலுமினியம் ஆக்சைடு ஆகியவற்றை இந்த கூறுகளை உருவாக்க பயன்படுத்துகிறது, அவை செதில்களை மாசுபடுத்துவதைத் தடுக்க மிகவும் வலுவான அரிப்பு எதிர்ப்பைக் கொண்டிருப்பதை உறுதி செய்கிறது. Yttrium ஆக்சைடு ஆலசன் பிளாஸ்மாக்களில் (Cl₂ மற்றும் CF₄ போன்றவை) சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகிறது, இது உயர்நிலை பொறித்தல் இயந்திரங்களுக்கு விருப்பமான தேர்வாக அமைகிறது. உயர்-தூய்மை அலுமினிய நைட்ரைடு மட்பாண்டங்கள் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன், வெப்ப எதிர்ப்பு மற்றும் காப்பு ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளன, சிலிக்கானுக்கு நெருக்கமான வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குணகம் மற்றும் சிறந்த பிளாஸ்மா எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகிறது, இதன் விளைவாக சீரான வெப்ப விநியோகம் ஏற்படுகிறது.

C. இரசாயன இயந்திர மெருகூட்டல்

இரசாயன மெக்கானிக்கல் பாலிஷ் செய்யும் கருவிகளில் பயன்படுத்தப்படும் பீங்கான் மெருகூட்டல் தலைகள் பொதுவாக அலுமினிய நைட்ரைடிலிருந்து தயாரிக்கப்படுகின்றன, ஏனெனில் அலுமினிய நைட்ரைடு உயர்ந்த கடினத்தன்மை, உடைகள் எதிர்ப்பு மற்றும் இரசாயன நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது. இந்த பொருள் பண்புகள் செராமிக் மெருகூட்டல் தலைகளை நீண்ட கால இரசாயன மெக்கானிக்கல் மெக்கானிக்கல் மெருகூட்டல் சூழல்களில் நிலையான முறையில் செயல்பட உதவுகிறது.

D. அயன் பொருத்துதல்

அயன் பொருத்துதல் செயல்முறைகளின் பீம்லைன்களில் இன்சுலேட்டர்கள், ஃபிக்சர்கள் மற்றும் தடுப்புகளாகப் பயன்படுத்தப்படும் கூறுகள் சார்ஜ் திரட்சியைத் தடுக்கவும் மற்றும் உயர் ஆற்றல் அயன் கற்றைகளால் குண்டுவீச்சைத் தாங்கவும் அதிக காப்பு தேவைப்படுகிறது. அலுமினா மற்றும்சிலிக்கான் நைட்ரைடுநம்பகமான பொருள் பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது, இந்த கூறுகளில் உள்ள கூறுகளை உருவாக்குவதற்கு அவை சிறந்தவை.

2. மெல்லிய படல படிவு

அலுமினியம் நைட்ரைடு மற்றும் அலுமினா போன்ற துல்லியமான மட்பாண்டங்கள், இரசாயன நீராவி படிவு கருவிகளில் வெப்பமூட்டும் தகடுகள், சஸ்செப்டர்கள் மற்றும் அறை லைனர்களாக தயாரிக்கப்படலாம். அவற்றின் உயர்ந்த பொருள் பண்புகள் நிலையான செயல்திறனைப் பராமரிக்கவும், அதிக வேலை வெப்பநிலை (பல நூறு டிகிரி செல்சியஸ் வரை) மற்றும் அரிக்கும் எதிர்வினை வாயுக்களை உள்ளடக்கிய சவாலான இயக்க சூழல்களில் தேவையற்ற அசுத்தங்களை வெளியிடுவதைத் தடுக்கவும் அனுமதிக்கின்றன.

3. வெப்ப சிகிச்சை (பரவல், ஆக்சிஜனேற்றம்)

உயர் தூய்மைகுவார்ட்ஸ் கண்ணாடி(வழக்கமான பீங்கான் இல்லாவிட்டாலும், இது சிலிக்கேட் மட்பாண்ட வகையின் கீழ் வரும்) மற்றும்சிலிக்கான் கார்பைடுமட்பாண்டங்கள் பொதுவாக பரவல் உலை குழாய்கள் மற்றும் செதில் படகுகள் தயாரிப்பில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. சிலிக்கான் கார்பைடு அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன், உயர் வெப்பநிலை இயந்திர வலிமை, அதிக விறைப்பு, வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குறைந்த குணகம், நல்ல வெப்ப சீரான தன்மை, அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பு ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது. உலை குழாய்கள் மற்றும் செதில் படகுகளின் உற்பத்தியில் அதன் பயன்பாடு தவிர, XY தளங்கள், தளங்கள், உற்பத்தி மற்றும் செயலாக்கத்திலும் இது பயன்படுத்தப்படலாம்.கவனம் செலுத்தும் வளையம்கள், பாலிஷ் தட்டுகள்,செதில் சக்ஸ், வெற்றிட சக்ஸ்,போக்குவரத்து ஆயுதங்கள், மற்றும்கான்டிலீவர் துடுப்புகள்.

---

II. சிப் சோதனை மற்றும் பேக்கேஜிங்

1. சோதனை ஆய்வு அட்டைகள்

அலுமினா மற்றும் அலுமினியம் நைட்ரைடு போன்ற துல்லியமான பீங்கான்கள் பொதுவாக ஆய்வு அட்டைகளுக்கு அடி மூலக்கூறுகளாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. இந்த பீங்கான் அடி மூலக்கூறுகள் சிறந்த காப்பு, தட்டையான தன்மை மற்றும் பரிமாண நிலைத்தன்மையை வழங்குகின்றன, இதனால் ஆயிரக்கணக்கான மைக்ரோபிரோப்கள் மின் செயல்திறன் சோதனைக்காக சிப்பில் உள்ள சிறிய பேட்களுடன் துல்லியமாக சீரமைக்க முடியும்.

2. பேக்கிங் அடி மூலக்கூறு மற்றும் வீடுகள்

அலுமினியம் நைட்ரைடு மற்றும் பெரிலியம் ஆக்சைடு ஆகியவை பேக்கேஜிங் அடி மூலக்கூறுகள் மற்றும் வீடுகளை உற்பத்தி செய்வதற்கு பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் பொருட்கள். அவை CERDIP மற்றும் CQFP போன்ற பீங்கான் தொகுப்புகளின் போது சிப்பை திறம்பட பாதுகாப்பதற்கும் வெப்பத்தை சிதறடிப்பதற்கும் விதிவிலக்கான ஹெர்மெட்டிசிட்டி, உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் வெப்ப விரிவாக்க குணகம் பொருந்தக்கூடிய சிலிக்கான் ஆகியவற்றை வழங்குகின்றன. பவர் மாட்யூல்களில், அலுமினியம் நைட்ரைடு அடி மூலக்கூறு இன்சுலேடிங் லேயராக உள்ளதால், சிப் மூலம் உருவாக்கப்படும் வெப்பத்தை மெட்டல் ஹீட் சிங்கிற்கு திறமையாக நடத்த முடியும், அதே நேரத்தில் சுற்றுகளுக்கு இடையே மின்சாரம் தனிமைப்படுத்தப்படுவதை உறுதி செய்கிறது.

---

துல்லியமான மட்பாண்டங்கள் குறைக்கடத்தி தொழில்துறையின் "பாடப்படாத ஹீரோக்கள்". அவை நேரடியாக சிப்பின் சுற்றுகளை உருவாக்கவில்லை என்றாலும், அதிநவீன சில்லுகளின் உற்பத்தி சார்ந்து இருக்கும் மூலக்கல்லாகவும் பாதுகாவலராகவும் அவை உள்ளன. துல்லியமான மட்பாண்டங்கள், அவற்றின் நம்பகமான மற்றும் நிலையான பொருள் பண்புகளுடன், சிறிய, வேகமான மற்றும் அதிக வலிமையான சாதனங்களை உருவாக்க குறைக்கடத்தி தொழிற்துறையை ஆதரிக்கிறது.