சிவிடி எஸ்ஐசி ஃபின்

குறைக்கடத்தி சாதனங்கள் சிறிய வடிவவியல் மற்றும் உயர் ஒருங்கிணைப்பு நிலைகளை நோக்கி தொடர்ந்து உருவாகி வருவதால், செயல்முறை உபகரணங்கள் பெருகிய முறையில் தேவைப்படும் நிலைமைகளின் கீழ் செயல்பட வேண்டும். பிளாஸ்மா பொறித்தல், மேம்பட்ட படிவு மற்றும் உயர்-வெப்பநிலை உற்பத்தி சூழல்கள் அறை கூறுகளை தீவிர வெப்ப அழுத்தம், ஆக்கிரமிப்பு எதிர்வினை வாயுக்கள் மற்றும் உயர் ஆற்றல் அயன் குண்டுவீச்சுக்கு வெளிப்படுத்துகின்றன.

இந்த சவால்களை எதிர்கொள்ள, செமிகோரெக்ஸ், மேம்பட்ட இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) தொழில்நுட்பத்தின் மூலம் தயாரிக்கப்படும் உயர் அடர்த்தி திட சிலிக்கான் கார்பைடு கூறுகளான CVD SiC Fin ஐ வழங்குகிறது. வழக்கமாக சில பத்து அல்லது நூற்றுக்கணக்கான மைக்ரான்களை மட்டுமே அளவிடும் வழக்கமான SiC மெல்லிய-பட பூச்சுகள் போலல்லாமல், CVD SiC Fin என்பது 500 μm முதல் 10,000 μm வரை தடிமன் கொண்ட கணிசமான தடிமனான, முழு அடர்த்தியான சிலிக்கான் கார்பைடு அமைப்பாகும்.

இந்த தனித்துவமான கட்டுமானமானது உயர்ந்த நீடித்து நிலைப்பு, நீண்ட சேவை வாழ்க்கை மற்றும் மிகவும் கோரும் சில குறைக்கடத்தி செயலாக்க சூழல்களில் விதிவிலக்கான செயல்திறன் ஆகியவற்றை செயல்படுத்துகிறது.

CVD SiC Fin ஐ வேறுபடுத்துவது எது?

பல குறைக்கடத்தி கூறுகள் பாதுகாப்பிற்காக SiC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் அல்லது மெல்லிய படமான SiC பூச்சுகளை நம்பியுள்ளன. இந்த தீர்வுகள் மிதமான செயல்முறை நிலைகளில் சிறப்பாக செயல்படும் போது, ​​கடுமையான பிளாஸ்மா வெளிப்பாடு மற்றும் நீட்டிக்கப்பட்ட இயக்க சுழற்சிகள் பெரும்பாலும் மிகவும் வலுவான பொருள் அமைப்பு தேவைப்படுகிறது.

CVD SiC Fin ஒரு எளிய மேற்பரப்பு பூச்சுக்கு பதிலாக தடிமனான, உயர்-தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு உடலாக தயாரிக்கப்படுகிறது. இதன் விளைவாக கட்டமைப்பு வழங்குகிறது:

குறிப்பிடத்தக்க வகையில் அதிக பொருள் தடிமன்

அதிக கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாடு

பிளாஸ்மா அரிப்புக்கு உயர்ந்த எதிர்ப்பு

நீண்ட செயல்பாட்டு வாழ்நாள்

மேம்படுத்தப்பட்ட பரிமாண நிலைத்தன்மை

குறைக்கப்பட்ட மாசுபாடு ஆபத்து

தடிமனான உற்பத்தி சிக்கலானதுCVD SiC கூறுகள்நிலையான மெல்லிய-பட தயாரிப்புகளை விட கணிசமாக அதிகமாக உள்ளது, குறிப்பாக சிக்கலான வடிவவியல் மற்றும் துல்லியமான அம்சங்களை உருவாக்கும் போது.

உயர்-தூய்மை அடர்த்தியான SiC அமைப்பு

CVD படிவு செயல்முறையானது, குறைந்தபட்ச போரோசிட்டி மற்றும் சிறந்த தூய்மையுடன் கூடிய ஒரு விதிவிலக்காக அடர்த்தியான மற்றும் சீரான சிலிக்கான் கார்பைடு பொருளை உருவாக்குகிறது.

முக்கிய பொருள் பண்புகள் பின்வருமாறு:

• அதி-உயர் தூய்மை SiC கலவை
• அதிக அடர்த்தி மற்றும் குறைந்த போரோசிட்டி
• சிறந்த இரசாயன செயலற்ற தன்மை
• சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை
• உயர்ந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு
• மிகக் குறைந்த துகள் உருவாக்கம்

இந்த பண்புகள் குறைக்கடத்தி புனையமைப்பு சூழல்களுக்கு முக்கியமானவை, அங்கு செயல்முறை மாசுபாடு சாதனத்தின் செயல்திறன் மற்றும் உற்பத்தி விளைச்சலை நேரடியாக பாதிக்கலாம்.

பிளாஸ்மா சூழலில் விதிவிலக்கான செயல்திறன்

நவீன பொறித்தல் செயல்முறைகள் காலப்போக்கில் வழக்கமான பொருட்களைத் தாக்கும் திறன் கொண்ட மிகவும் எதிர்வினை பிளாஸ்மா இனங்களை உருவாக்குகின்றன. பிளாஸ்மாவுக்கு வெளிப்படும் கூறுகள் பரிமாண துல்லியம் மற்றும் மேற்பரப்பு ஒருமைப்பாட்டைப் பராமரிக்கும் போது தொடர்ச்சியான குண்டுவீச்சுகளைத் தாங்க வேண்டும்.

CVD SiCஃபின் விதிவிலக்கான எதிர்ப்பை வழங்குகிறது:

புளோரின் அடிப்படையிலான பிளாஸ்மா வேதியியல்

குளோரின் அடிப்படையிலான பொறித்தல் சூழல்கள்

அயன் குண்டுவீச்சு

இரசாயன அரிப்பு

வெப்ப சைக்கிள் ஓட்டுதல்

அதன் அடர்த்தியான நுண் கட்டமைப்பு பொருள் சிதைவை கணிசமாகக் குறைக்கிறது மற்றும் நீட்டிக்கப்பட்ட உற்பத்தி ஓட்டங்கள் முழுவதும் நிலையான செயல்முறை நிலைமைகளை பராமரிக்க உதவுகிறது.

இது மேம்பட்ட ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்று உற்பத்தியில் பொருளை குறிப்பாக மதிப்புமிக்கதாக ஆக்குகிறது.

அல்ட்ரா-உயர்-வெப்பநிலை பயன்பாடுகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது

பிளாஸ்மா எதிர்ப்பிற்கு கூடுதலாக, CVD SiC Fin தீவிர வெப்ப நிலைகளின் கீழ் சிறப்பாக செயல்படுகிறது.

சிலிக்கான் கார்பைடு பல வழக்கமான பொறியியல் பொருட்களுக்கு சவால் விடும் வெப்பநிலையில் இயந்திர வலிமை மற்றும் பரிமாண நிலைத்தன்மையைத் தக்கவைக்கும் திறனுக்காக அறியப்படுகிறது.

நன்மைகள் அடங்கும்:

• சிறந்த வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு
• குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம்
• உயர் வெப்பநிலை இயந்திர நிலைத்தன்மை
• வெப்ப உருமாற்றத்திற்கு எதிர்ப்பு
• கடுமையான சூழல்களில் நீண்ட கால நம்பகத்தன்மை

செமிகோரெக்ஸ் பரந்த அளவிலான வடிவவியலில் CVD SiC பாகங்களைத் தயாரிக்கத் தேவையான தொழில்நுட்ப நிபுணத்துவத்தைக் கொண்டுள்ளது, அவற்றுள்:

• துடுப்புகள்
• மோதிரங்கள்
  
• கேடயங்கள்
• கவனம் கூறுகள்
• எரிவாயு விநியோக கூறுகள்
• அறை லைனர்கள்
• தனிப்பயன் பிளாஸ்மா எதிர்கொள்ளும் பாகங்கள்

செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் பயன்பாடுகள்

CVD SiC Fin கூறுகள் செமிகண்டக்டர் ஃபேப்ரிகேஷன் கருவிகள் முழுவதும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, குறிப்பாக ஆக்கிரமிப்பு செயல்முறை நிலைமைகளுக்கு வெளிப்படும் பகுதிகளில்.

வழக்கமான பயன்பாடுகள் அடங்கும்:

பிளாஸ்மா பொறித்தல் அமைப்புகள்

உலர் எட்ச் அறைகள்

குறைக்கடத்தி படிவு உபகரணங்கள்

மேம்பட்ட லாஜிக் சாதன உற்பத்தி

நினைவக சாதனம் உற்பத்தி

பவர் குறைக்கடத்தி செயலாக்கம்

கலவை குறைக்கடத்தி உற்பத்தி